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微加速度传感器实现无线鼠标
引 言微机械加速度传感器是一种典型的微机电系统(microelectromechanical system,MEMS),在航空、航天、汽车等领域已得到了越来越广泛的应用,但基于MEMS微加速度传感器技
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一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试
一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试引言 高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。可靠性研究是微电子机械系统 MEMS产业化的关键,对于微加速度传感器更是如此。由于应用环境的