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静电驱动
技术
美研究人员将超表面安装在2D扫描器等静电驱动MEMS平台
导读: 这种概念验证的MEMS上超透镜(metalens-on-a-MEMS)集成可扩展到电磁波谱的可见光部分和其他频谱部分,用于包括基于MEMS的显微镜系统、全息和投影成像、激光雷达扫描或激光打印在
阿布扎比投资局
2022-8-11
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