据悉,德国通快Trumpf将与台湾工业技术研究院展开合作,在中国台湾台南建立一个台湾激光应用中心。通快、台湾工研院与台湾机械公会的代表于昨日在台北签署一份谅解备忘录,确立合作关系。
台湾工研院成立于1973年,时任经济部长孙运璿深信台湾唯有摆脱劳力密集,转向技术密集的工业,才能彻底让台湾经济转型、起飞。因此他将分散在各处的联合工业研究院、联合矿业研究院和金属工业研究院合并,成立工业技术研究院。工研院不但是台湾最大的产业技术研发机构,更是开创台湾半导体产业的先锋。自1980年起,陆续衍生了包括联电、台积电、台湾光罩、世界先进等半导体大厂,奠定了中国台湾IC产业的地位。
工研院经理Art Liao表示:“拟议的激光中心将令台湾制造商能够更方便地获取激光组件,目前这些组件均需要进口。我们可以把激光设备设想为一辆汽车,而由通快提供的激光源,就是最重要的发动机。至于其他部件,工研院将提供相当于汽车变速器的光学元件,制造商则只需要完成底盘建造。”
同时,他表示工研院虽然拥有制造光学元件的设施,但台湾企业却要依靠德国、英国和日本等国进口的产品来进行大规模生产。
Liao指出:“若台积电制造的晶片是一块蛋糕,我们就可以用激光把蛋糕切成小块,然后再包装出售,甚至可以在中间加上不同的配料。”
台湾机械公会董事长Alex Ko表示,获得高端激光资源将有望催生大量新应用,并为台湾产业带来巨大的推动力。Ko说道:“起初,我们计划会将激光应用到切割、测量和3D打印等,但后来我们意识到精密切割在半导体工业中的应用是巨大的。我们有点落后了,必须要想办法缩小差距。对于半导体行业来说,一台激光切割机相当于我们出口的100多种产品。想像一下,要是这些激光切割机都能在台湾生产,然后再出口到世界各地?”
台湾经济部长王美花去年9月曾去德国通快总部参观,她表示通快是世界三大激光源制造商之一,也是荷兰半导体设备制造商ASML的主要供应商,持有EUV光刻系统,将成为台湾激光设备工业发展的强大战略合作伙伴。
近年来依靠着与荷兰企业ASML在EUV光刻技术上的合作,荷兰逐渐反超中国成为通快第三大市场。与此同时,为了应对世界经济低迷现状,通快致力于开拓市场以提振业绩,荷兰就是一个很明显的例子。而由于中国大陆地区激光市场竞争日益激烈,通快也开始将目光瞄到激光产业尚未完全成熟的中国台湾地区。在19/20年财报中,通快透露目前只有EUV光刻机和电子等少数几个业务领域实现了销售增长。很显然,半导体行业正是通快所要瞄准的业务。
而除了ASML,台积电也是半导体行业里举足轻重的企业。在不久前,ASML也刚才决定在台湾设立培训首个海外培训中心,指导台积电芯片工程师如何使用EUV光刻机。据《亚洲日经评论》报道,ASML计划于今年出货的35台EUV设备中,有20台将交付给台积电。让更多台积电员工熟悉EUV设备,也有利于ASML日后的产品销售。
既然叫做光刻机,光源就是光刻机的核心之一。为了强化光刻技术,ASML于2012年收购全球知名准分子激光器厂商Cymer,以加强光刻机光源设备及技术;三年后的2015年,ASML向通快订购了15台EUV光刻工具。自那以后,通快开始布局用于光刻技术的极紫外激光器,16年财报至今,每年均强调EUV业务为通快集团业务作出了重大贡献,近两年通快更是指出只有EUV和电子产品业务实现了逆势增长。2017年,通快宣布成功收购大通激光85%的股权,后者建立早期专注研发CO2激光器,利用在定制激光器方面的强大知识,于2012年成为EUV市场的核心供应商。在收购后,通快迅速加强EUV相关设备研发,一举成为ASML EUV光刻机光源的独门供应商。
王美花表示此次通快于中国台湾设立激光应用中心,将强化台南激光社群发展,为台湾激光设备产业发展带来新机遇。同时,有了这个激光应用中心,将能够极大方便台湾制造商,大大提升半导体厂商制造效率——由于在半导体后段封装制程当中,如何尽可能不损坏晶粒,完成晶圆切割,激光器的好坏将直接影响加工品质。但是高端激光器成本很高,厂商财务负担大,而且如果要测试开发需要国外原厂配合,往往会与国外厂商在一来一往当中丧失商机。
今年6月,中国台湾出台了一项100亿新台币(合3.34亿美元)补贴计划,以吸引全球芯片厂商增加在台湾的投资,并承诺,如果有半导体公司在台湾新建工厂,政府将承担企业高达一半的研发成本。虽然通快并非半导体企业,但由于中国台湾是全球最大的EUV安装地区,作为ASML EUV光源的供应商,在台湾地区拓展业务,相信对企业和台湾地区来说,都是一个双赢的局面。
在当前中国大陆、德国、印度和美国等国家及地区都在努力扩增电子元件资源时,中国台湾在技术复杂性方面的研究具有明显优势,而随着与ASML、通快进一步的紧密合作,这份优势可能还会保持下去。
责编AJX
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