mems加速度计的组成和工作原理

微机械加速度计又称mems加速度计，是微机械传感器中最重要的一种，属于惯性感器。智腾微电子生产的SiA200系列Mems加速度计主要用于航空、航海等中高端惯性领域，具有体积小、高可靠、高稳定等特点。

电容式mems加速度计SiA230外观图传感器由两个差分电容组成，活动电极与两侧固定电极分别构成平行板电容C1和C2。。当y方向加速度为零时，悬梁的活动电极处在两固定电极极板的中间位置时C1=C2，当y方向有加速度存在时，悬梁产生的变形使极板间的距离发生变化，于是有C1≠C2。两平行板电容值之差△C与加速度成正比，因此只要测量△C就可以确定加速度的大小。

伺服电子线路主要由位移检测电路、交流放大和同步解调电路、积分校正环节、静电力矩器四部分组成。电压信号变成直流和二倍频两项，再经过低通滤波器，滤除高频项完成交流到直流的转换。直流电压经过放大后，一路直接输出，另一路经反馈单元加至敏感质量块，因此反馈电压与位移信号成正比，所生成的静电反馈力也与位移信号成正比，而方向与惯性力相反，当两力平衡时，敏感质量回到初始位置，系统达到稳态。由于闭环回路的增益很大，响应时间快，所以检测质量的位移趋于零。