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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。
半导体废气治理办法
半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法,又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性,可以更好地捕捉沉降,溶解去除污染物,而达到大气排放标准,故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。
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1. 资金支持政策半导体产业被认为是关键新兴产业,政府部门对半导体行业的发展提供了大量的资金支持政策,包括补贴和贷款等形式的资金支持,以促进半导体行业的技术创新和产业升级。
2. 税收优惠政策
政府在制定税收政策时,会为半导体行业提供较低的税率,以鼓励企业增加投资和扩大生产,从而促进半导体行业的发展。
3. 创新环境政策
政府加强半导体技术创新能力的建设,将创新作为半导体行业发展的核心驱动力,提供完善的国家技术创新体系,加强产学研合作,优化知识产权政策,推动半导体技术的发展
。
4. 市场开放政策
政府在开放半导体市场方面,通过政策创新和税收优惠,鼓励外商进入半导体行业,扩大半导体产业的发展空间,提升半导体产品的国际竞争力。
5. 人才支持政策
为了提高半导体行业发展的人才储备,政府制定了一系列差异化、激励性人才政策,为半导体人才提供更加优越的薪酬待遇、学术环境和人才 发展渠道,提高半导体行业的产业水平。
6. 环保政策
政府采取环境保护政策,对半导体行业产生的环境影响进行规范和管理。对于环保达标的企业,政府设定了一系列的税收减免和经济补贴政策。
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