国产3nm芯片刻蚀机取得突破 美企多次窃取中微专利

国产3nm芯片刻蚀机取得突破 美企多次窃取中微专利,第1张

紫金 财经 5月8日消息 近日,国产芯片行业传来好消息。据媒体报道,中微公司成功研制出3nm蚀刻机,且完成了原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估,并已进入量产阶段。

之前,中微的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户先进集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。此次3nm刻蚀机诞生,使得中国芯片企业以后能够参与到更先进的高端芯片制造产业链中。

众所周知,半导体工艺流程主要包括晶圆制造、设计、制造和封测几个环节。每个环节不但需要高尖端技术,还需要大量的软件和硬件设备。单晶硅片制造需要单晶炉等设备,IC制造需要光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散离子注入设备、湿法设备、过程检测等六大类设备。其中,光刻机、刻蚀机、薄膜设备最为主要。

光刻机的工作原理与冲洗照片差不多,就是通过显影技术将线路图复制到硅片上。而刻蚀机的工作原理是按光刻机刻出的电路结构,在硅片上进行微观雕刻,刻出沟槽或接触孔。刻蚀机利用显影后的光刻胶图形作为掩模,在衬底上腐蚀掉一定深度的薄膜物质,随后得到与光刻胶图形相同的集成电路图形。

ASML公司EUV光刻机工程师曾表示,光刻机是人类智慧的结晶,把光当成画笔,将集成电路线路图复制到硅片上。而刻蚀机则像是工匠手中的一把雕刻刀,要在头发丝几千万分之一面积的大小上做几十层楼的“龙骨”建设,直接决定了芯片的工艺制程。

在高端芯片数百亿根晶体管,集成电路的勾勒雕刻过程中,至少需要上千个工艺步骤。但如此高端、复杂的刻蚀机最终被中微半导体突破,一直自认为技术领先的美国企业大为不满。

近年来,美国半导体设备公司美国应用材料、泛林研发、维科为了遏制中微的发展,轮番向中微发起了商业机密和专利侵权的诉讼,意欲遏制中微的发展。所幸的是,中微早做了充分的准备,他们在国内外申请了1200多件相关专利,其中绝大部分是发明专利,有力地保护了其自主创新形成的知识产权。

中微掌门人尹志尧曾表示,中微是国内被美国起诉最多的半导体公司,其中主要有四场大官司。这四场官司包括了专利诉讼,商业机密等多个方面,但是无一例外,中微都取得了胜利或者达成了和解。

据悉,美国维科在蚀刻机市场被中微打得节节败退,为了遏制中微迅猛的发展势头,维科在纽约联邦法院对中微的石墨盘供应商SGL发起了专利侵权诉讼,并索要巨额赔偿。但事实是SGL并没有侵犯维科的专利,反而是后者盗用了中微的晶圆承载器同步锁定相关专利。

为了保护自己的合法权益,中微直接发起反击,向上海海关递交了扣押维科侵权的商品,这批货物价值3000多万,直接给予维科重创,使得其不得不做出妥协,主动寻求中微的谅解,双方最终达成专利交叉授权协议。

如今,中微在蚀刻机领域已经全球领先,但在整个芯片领域,我们还没有实现芯片工艺的全国产覆盖。受制于国外的设备,我国在高端芯片上和欧美还相差一段距离,逻辑器件技术水平上差三代左右,也就是5到10年的差距。

从现阶段看,国内厂商与全球龙头技术差距正在逐渐缩短,国产替代迎来机遇期,中微公司掌握3nm刻蚀技术的消息也给半导体行业的发展带来了信心。尹志尧曾表示,中国人注重数理化,工程技术,又有耐心,最适合搞集成电路。“只要我们有一定的耐心,将来一定会成为世界芯片领域先进的国家”。

随着绿色低碳战略的不断推进,提升能源利用效率和能源转换效率已经成为各行各业的共识,如何利用现代化新技术建成可循环的高效、高可靠性的能源网络,无疑是当前各国重点关注的问题。

值此背景下,以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)为代表的第三代半导体成为市场聚焦的新赛道。根据Yole预测数据, 2025年全球以半绝缘型衬底制备的GaN器件市场规模将达到20亿美元,2019-2025年复合年均增长率高达12%! 其中,军工和通信基站设备是GaN器件主要的应用市场,2025年市场规模分别为11.1亿美元和7.31亿美元

全球以导电型碳化硅衬底制备的SiC器件市场规模到2025年将达到25.62亿美元,2019- 2025年复合年均增长率高达30%! 其中,新能源汽车和光伏及储能是SiC器件主要的应用市场, 2025年市场规模分别为15.53亿美元和3.14亿美元。

本文中,我们将针对第三代半导体产业多个方面的话题,与国内外该领域知名半导体厂商进行探讨解析。

20世纪50年代以来,以硅(Si)、锗(Ge)为代的第一代半导体材料的出现,取代了笨重的电子管,让以集成电路为核心的微电子工业的发展和整个IT产业的飞跃。人们最常用的CPU、GPU等产品,都离不开第一代半导体材料的功劳。可以说是由第一代半导体材料奠定了微电子产业的基础。

然而由于硅材料的带隙较窄、电子迁移率和击穿电场较低等原因,硅材料在光电子领域和高频高功率器件方面的应用受到诸多限制。因此,以砷化镓(GaAs)为代表的第二代半导体材料开始崭露头角,使半导体材料的应用进入光电子领域,尤其是在红外激光器和高亮度的红光二极管方面。与此同时,4G通信设备因为市场需求增量暴涨,也意味着第二代半导体材料为信息产业打下了坚实基础。

在第二代半导体材料的基础上,人们希望半导体元器件具备耐高压、耐高温、大功率、抗辐射、导电性能更强、工作速度更快、工作损耗更低特性,第三代半导体材料也正是基于这些特性而诞生。

笔者注意到,对于第三代半导体产业各家半导体大厂的看法也重点集中在 “高效”、“降耗”、“突破极限” 等核心关键词上。

安森美中国汽车OEM技术负责人吴桐博士 告诉笔者: “第三代半导体优异的材料特性可以突破硅基器件的应用极限,同时带来更好的性能,这也是未来功率半导体最主流的方向。” 他表示随着第三代半导体技术的普及,传统成熟的行业设计都会有突破点和优化的空间。

英飞凌科技电源与传感系统事业部大中华区应用市场总监程文涛 则从能源角度谈到,到2025年,全球可再生能源发电量有望超过燃煤发电量,将推动第三代半导体器件的用量迅速增长。 在用电端,由于数据中心、5G通信等场景用电量巨大,节电降耗的重要性凸显,也将成为率先采用第三代半导体器件做大功率转换的应用领域。

第三代半导体材料区别于前两代半导体材料最大的区别就在于带隙的不同。 第一代半导体材料属于间接带隙,窄带隙第二代半导体材料属于直接带隙,同样也是窄带隙二第三代半导体材料则是全组分直接带隙,宽禁带。

和前两代半导体材料相比,更宽的禁带宽度允许材料在更高的温度、更强的电压与更快的开关频率下运行。

随着碳化硅、氮化镓等具有宽禁带特性(Eg>2.3eV)的新兴半导体材料相继出现,世界各国陆续布局、产业化进程快速崛起。具体来看:

与硅相比, 碳化硅拥有更为优越的电气特性 : 

1.耐高压 :击穿电场强度大,是硅的10倍,用碳化硅制备器件可以极大地 提高耐压容量、工作频率和电流密度,并大大降低器件的导通损耗

2.耐高温 :半导体器件在较高的温度下,会产生载流子的本征激发现象,造成器件失效。禁带宽度越大,器件的极限工作温度越高。碳化硅的禁带接近硅的3倍,可以保证碳化硅器件在高温条件下工作的可靠性。硅器件的极限工作温度一般不能超过300℃,而碳化硅器件的极限工作温度可以达到600℃以上。同时,碳化硅的热导率比硅更高,高热导率有助于碳化硅器件的散热,在同样的输出功率下保持更低的温度,碳化硅器件也因此对散热的设计要求更低,有助于实现设备的小型化

3.高频性能 :碳化硅的饱和电子漂移速率是硅的2倍,这决定了碳化硅器件可以实现更高的工作频率和更高的功率密度。基于这些优良的特性,碳化硅衬底的使用极限性能优于硅衬底,可以满足高温、高压、高频、大功率等条件下的应用需求,已应用于射频器件及功率器件。

氮化镓则具有宽禁带、高电子漂移速度、高热导率、耐高电压、耐高温、抗腐蚀、耐辐照等突出优点。 尤其是在光电子器件领域,氮化镓器件作为LED照明光源已广泛应用,还可制备成氮化镓基激光器在微波射频器件方面,氮化镓器件可用于有源相控阵雷达、无线电通信、基站、卫星等军事 或者民用领域氮化镓也可用于功率器件,其比传统器件具有更低的电源损耗。

半导体行业有个说法: “一代材料,一代技术,一代产业” ,在第三代半导体产业规模化出现之前,也还存在着不少亟待解决的技术难题。

第三代半导体全产业链十分复杂,包括衬底→外延→设计→制造→封装。 其中,衬底是所有半导体芯片的底层材料,起到物理支撑、导热、导电等作用外延是在衬底材料上生长出新的半导体晶层,这些外延层是制造半导体芯片的重要原料,影响器件的基本性能设计包括器件设计和集成电路设计,其中器件设计包括半导体器件的结构、材料,与外延相关性很大制造需要通过光刻、薄膜沉积、刻蚀等复杂工艺流程在外延片上制作出设计好的器件结构和电路封装是指将制造好的晶圆切割成裸芯片。

前两个环节衬底和外延生长正是第三代半导体生产工艺及其难点所在。我们重点挑选碳化硅、氮化镓两种典型的第三代半导体材料来看,它们的生产制备到底还面临哪些问题。

从碳化硅来看,还需要“降低衬底生长缺陷,以及提高工艺效率” 。首先碳化硅单晶制备目前最常用的是物理气相输运法(PVT)或籽晶的升华法,而碳化硅单晶在形成最终的短圆柱状之前,还需要通过机械加工整形、切片、研磨、抛光等化学机械抛光和清洗等工艺才能成为衬底材料。

这一机械、化学制造过程存在着加工困难、制造效率低、制造成本高等问题。此外,如果再加上考虑单晶加工的效率和成本问题,那还能够保障晶片具备良好的几何形貌,如总厚度变化、翘曲度、变形,而且晶片表面质量(粗糙度、划伤等)是否过关等,这都是碳化硅衬底制备中的巨大挑战。

此外,碳化硅材料是目前仅次于金刚石硬度的材料,材料的机械加工主要以金刚石磨料为基础切割线、切割刀具、磨削砂轮等工具。这些工具的制备难度大,使用寿命短,加工成本高,为了延长工具寿命、提高加工质量,往往会采用微量或极低速进给量,这就牺牲了碳化硅材料制备的整体生产效率。

对于氮化镓来说,则更看重“衬底与外延材料需匹配”的难题 。由于氮化镓在高温生长时“氮”的离解压很高,很难得到大尺寸的氮化镓单晶材料,当前大多数商业器件是基于异质外延的,比如蓝宝石、AlN、SiC和Si材料衬底来替代氮化镓器件的衬底。

但问题是这些异质衬底材料和氮化镓之间的晶格失配和热失配非常大,晶格常数差异会导致氮化镓衬底和外延层界面处的高密度位错缺陷,严重的话还会导致位错穿透影响外延层的晶体质量。这也就是为什么氮化镓更看重衬底与外延材料需匹配的难点。

在落地到利用第三代半导体材料去解决具体问题时,程文涛告诉OFweek维科网·电子工程, 英飞凌的碳化硅器件所采用的沟槽式结构解决了大多数功率开关器件的可靠性问题。

比如现在大多数功率开关器件产品采用的是平面结构,难以在开关的效率上和长期可靠性上得到平衡。采用平面结构,如果要让器件的效率提高,给它加点电,就能导通得非常彻底,那么它的门级就需要做得非常薄,这个很薄的门级结构,在长期运行的时候,或者在大批量运用的时候,就容易产生可靠性的问题。

如果要把它的门级做的相对比较厚,就没办法充分利用沟道的导通性能。而采用沟槽式的做法就能够很好地解决这两个问题。

吴桐博士则从产业化的角度提出, 第三代半导体技术的难点在于有关设计技术和量产能力的协调,以及对长期可靠性的保障。尤其是量产的良率,更需要持续性的优化,降低成本,提升可靠性。

观察当前半导体市场可以发现,占据市场九成以上的份额的主流产品依然是硅基芯片。

但近些年来,“摩尔定律面临失效危机”的声音不绝于耳,随着芯片设计越来越先进,芯片制造工艺不断接近物理极限和工程极限,芯片性能提升也逐步放缓,且成本不断上升。

业界也因此不断发出质疑,未来芯片的发展极限到底在哪,一旦硅基芯片达到极限点,又该从哪个方向下手寻求芯片效能的提升呢?笔者通过采访发现,国内外厂商在面对这一问题时,虽然都表达出第三代半导体产业未来值得期待,但也齐齐提到在这背后还需要重点解决的成本问题。

“目前硅基半导体从架构上、从可靠性、从性能的提升等方面,基本上已经接近了物理极限。第三代半导体将接棒硅基半导体,持续降低导通损耗,在能源转换的领域作出贡献,” 程文涛也为笔者描述了当前市场上的一种现象:可能会存在一些定价接近硅基半导体的第三代半导体器件,但并不代表它的成本就接近硅基半导体。因为那是一种商业行为,就是通过低定价来催生这个市场。

以目前的工艺来讲,第三代半导体的成本还是远高于硅基半导体 ,程文涛表示:“至少在可见的将来,第三代半导体不会完全取代第一代半导体。因为从性价比的角度来说,在非常宽的应用范围中,硅基半导体目前依然是不二之选。第三代半导体目前在商业化上的瓶颈就是成本很高,虽然在迅速下降,但依然远高于硅基半导体。”

作为中国碳化硅功率器件产业化的倡导者之一,泰科天润同样也表示对第三代半导体产业发展的看好。

虽然碳化硅单价目前比硅高不少,但从系统整体的角度来看,可以节约电感电容以及散热片。如果是大功率电源系统整体角度看成本未必更高,同时还能更好地提升效率。 这也是为什么现阶段虽然单器件碳化硅比硅贵,依然不少领域客户已经批量使用了。

从器件的角度来看,碳化硅从四寸过度到六寸,未来往八寸甚至十二寸发展,碳化硅器件的成本也将大幅度下降。据泰科天润介绍,公司新的碳化硅六寸线于去年就已经实现批量出货,为客户提供更高性价比的产品,有些产品实现20-30%的降价幅度。除此之外,泰科天润耗时1年多成功开发了碳化硅减薄工艺,在Vf水平不变的情况下,可以缩小芯片面积,进一步为客户提供性价比更高的产品。

泰科天润还告诉笔者:“这两年随着国外友商的缺货或涨价,比如一些高压硅器件,这些领域已经出现碳化硅取代硅的现象。随着碳化硅晶圆6寸产线生产技术的成熟,8寸晶圆的发展,碳化硅器件有望与硅基器件达到相同的价格水平。”

吴桐博士认为, 目前来看在不同的细分市场,第三代半导体跟硅基器件是一个很好的互补,也是价钱vs性能的一个平衡。随着第三代半导体的成熟以及成本的降低,最终会慢慢取代硅基产品成为主流方案。

那么对于企业而言,该如何发挥第三代半导体的综合优势呢?吴桐博士表示,于安森美而言,首先是要垂直整合,保证稳定的供应链,可长期规划的产能布局以及达到客观的投资回报率其次是在技术研发上继续发力,比如Rsp等参数,相比行业水准,实现用更小的半导体面积实现相同功能,这样单个器件成本得以优化第三是持续地提升FE/BE良率,等效的降低成本第四是与行业大客户共同开发定义新产品,保证竞争力以及稳定的供需关系最后也是重要的一点,要帮助行业共同成长,蛋糕做大,产能做强,才能使得单价有进一步下降的空间。

第三代半导体产业究竟掀起了多大的风口?根据《2020“新基建”风口下第三代半导体应用发展与投资价值白皮书》内容:2019年我国第三代半导体市场规模为94.15亿元,预计2019-2022年将保持85%以上平均增长速度,到2022年市场规模将达到623.42亿元。

其中,第三代半导体衬底市场规模从7.86亿元增长至15.21亿元,年复合增速为24.61%,半导体器件市场规模从86.29亿元增长至608.21亿元,年复合增速为91.73%。

得益于第三代半导体材料的优良特性,它在 光电子、电力电子、通讯射频 等领域尤为适用。具体来看:

光电子器件 包括发光二极管、激光器、探测器、光子集成电路等,多用于5G通信领域,场景包括半导体照明、智能照明、光纤通信、光无线通信、激光显示、高密度存储、光复印打印、紫外预警等

电力电子器件 包括碳化硅器件、氮化镓器件,多用于新能源领域,场景包括消费电子、新能源汽车、工业、UPS、光伏逆变器等

微波射频器件 包括HEMT(高电子迁移率晶体管)、MMIC(单片微波集成电路)等,同样也是用在5G通信领域,不过场景则更加高端,包括通讯基站及终端、卫星通讯、军用雷达等。

现阶段,欧美日韩等国第三代半导体企业已形成规模化优势,占据全球市场绝大多数市场份额。我国高度重视第三代半导体发展,在研发、产业化方面出台了一系列支持政策。国家科技部、工信部等先后开展了“战略性第三代半导体材料项目部署”等十余个专项,大力支持第三代半导体技术和产业发展。

早在2014年,工信部发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》提出设立国家产业投资基金,重点支持集成电路等产业发展,促进工业转型升级,同时鼓励社会各类风险投资和股权投资基金进入集成电路领域在去年全国人大发布《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》中,进一步强调培育先进制造业集群,推动集成电路、航空航天等产业创新发展。瞄准人工智能、量子信息、集成电路等前沿领域,实施一批具有前瞻性、战略性的国家重大科技项目。

具体来看当前主要应用领域的发展情况:

1.新能源汽车

新能源汽车行业是未来市场空间巨大的新兴市场,全球范围内新能源车的普及趋势明朗。随着电动汽车的发展,对功率半导体器件需求量日益增加,成为功率半导体器件新的经济增长点。得益于碳化硅功率器件的高可靠性及高效率特性,在车载级的电机驱动器、OBC及DC/DC部分,碳化硅器件的使用已经比较普遍。对于非车载充电桩产品, 由于成本的原因,目前使用比例还相对较低,但部分厂商已开始利用碳化硅器件的优势,通过降低冷却等系统的整体成本找到了市场。

2.光伏

光伏逆变器曾普遍采用硅器件,经过40多年的发展,转换效率和功率密度等已接近理论极限。碳化硅器件具有低损耗、高开关频率、高适用性、降低系统散热要求等优点,将在光伏新能源领域得到广泛应用。例如,在住宅和商业设施光伏系统中的组串逆变器里,碳化硅器件在系统级层面带来成本和效能的好处。

3.轨道交通

未来轨道交通对电力电子装置,比如牵引变流器、电力电子电压器等提出了更高的要求。采用碳化硅功率器件可以大幅度提高这些装置的功率密度和工作效率,有助于明显减轻轨道交通的载重系统。目前,受限于碳化硅功率器件的电流容量,碳化硅混合模块将首先开始替代部分硅IGBT模块。未来随着碳化硅器件容量的提升,全碳化硅模块将在轨道交通领域发挥更大的作用。

4.智能电网

目前碳化硅器件已经在中低压配电网开始了应用。未来更高电压、更大容量、更低损耗的柔性输变电将对万伏级以上的碳化硅功率器件具有重大需求。碳化硅功率器件在智能电网的主要应用包括高压直流输电换流阀、柔性直流输电换流阀、灵活交流输电装置、高压直流断路器、电力电子变压器等装置中。

第三代半导体自从在2021年被列入十四五规划后,相关概念持续升温,迅速成为超级风口,投资热度高居不下。

时常会听到业内说法称,第三代半导体国内外都是同一起跑线出发,目前大家差距相对不大,整个产业发展仍处于爆发前的“抢跑”阶段,对国内而言第三代半导体材料更是有望成为半导体产业的“突围先锋”,但事实真的是这样吗?

从起步时间来看,欧日美厂商率先积累专利布局,比如 英飞凌一直走在碳化硅技术的最前沿,从30年前(1992年)开始包含碳化硅二极管在内的功率半导体的研发,在2001年发布了世界上第一款商业化碳化硅功率二极管 ,此后至今英飞凌不断推出了各种性能优异的碳化硅功率器件。除了产品本身,英飞凌在2018年收购了Siltectra,致力于通过冷切割技术优化工艺流程,大幅提高对碳化硅原材料的利用率,有效降低碳化硅的成本。

安森美也是第三代半导体产业布局中的佼佼者,据笔者了解, 安森美通过收购上游碳化硅供应企业GTAT实现了产业链的垂直整合,确保产能和质量的稳定。同时借助安森美多年的技术积累以及几年前收购Fairchild半导体基因带来的技术补充,安森美的碳化硅技术已经进入第三代,综合性能在业界处于领先地位 。目前已成为世界上少数提供从衬底到模块的端到端碳化硅方案供应商,包括碳化硅球生长、衬底、外延、器件制造、同类最佳的集成模块和分立封装方案。

具体到技术上, 北京大学教授、宽禁带半导体研究中心主任沈波 也曾提出,国内第三代半导体和国际上差距比较大,其中很重要的领域之一是碳化硅功率电子芯片。这一块国际上已经完成了多次迭代,虽然8英寸技术还没投入量产,但是6英寸已经是主流技术,二极管已经发展到了第五代,三极管也发展到了第三代,IGBT也已进入产业导入前期。

另外车规级的碳化硅MOSFET模块在意法半导体率先通过以后,包括罗姆、英飞凌、科锐等国际巨头也已通过认证,国际上车规级的碳化硅芯片正逐渐走向规模化生产和应用。反观国内,目前真正量产的主要还是碳化硅二极管,工业级MOSFET模块估计到明年才能实现规模量产,车规级碳化硅模块要等待更长时间才能量产。

泰科天润也直言,国内该领域仍处于后发追赶阶段:器件方面,从二极管的角度, 国产碳化硅二极管基本上水平和国外差距不大,但是碳化硅MOSFET国内外差距还是有至少1-2代的差距 可靠性方面,国外碳化硅产品市场应用推广较早,积累了更加丰富的应用经验,对产品可靠性的认知,定义以及关联解决可靠性的方式都走得更前一些,国内厂家也在推广市场的过程中逐步积累相关经验产业链方面,国外厂家针对碳化硅的材料优势,相关匹配的产业链都做了对应的优化设计,使之能更加契合的体现碳化硅的材料优势。

OFweek维科网·电子工获悉,泰科天润在湖南新建的碳化硅6寸晶圆产线,第一期60000片/六寸片/年。此产线已经于去年实现批量出货,2022年始至4月底已经接到上亿元销售订单。 作为国内最早从事碳化硅芯片生产研发的公司,泰科天润积累了10余年的生产经验,针对特定领域可以结合自身的研发,生产和工艺一体化,快速为客户开发痛点新品 ,例如公司全球首创的史上最小650V1A SOD123,专门针对解决自举驱动电路已经替换高压小电流Si FRD解决反向恢复的痛点问题而设计。

虽然说IDM方面,我国在碳化硅器件设计方面有所欠缺,少有厂商涉及于此,但后发追赶者也不在少数。

就拿碳化硅产业来看,单晶衬底方面国内已经开发出了6英寸导电性碳化硅衬底和高纯半绝缘碳化硅衬底。 山东天岳、天科合达、河北同光、中科节能 均已完成6英寸衬底的研发,中电科装备研制出6英寸半绝缘衬底。

此外,在模块、器件制造环节我国也涌现了大批优秀的企业,包括 三安集成、海威华芯、泰科天润、中车时代、世纪金光、芯光润泽、深圳基本、国扬电子、士兰微、扬杰科技、瞻芯电子、天津中环、江苏华功、大连芯冠、聚力成半导体 等等。

OFweek维科网·电子工程认为,随着我国对新型基础建设的布局展开和“双碳”目标的提出,碳化硅和氮化稼等第三代半导体的作用也愈发凸显。

上有国家支持政策,下有新能源汽车、5G通信等旺盛市场需求, 我国第三代半导体产业也开始由“导入期”向“成长期”过渡,初步形成从材料、器件到应用的全产业链。但美中不足在于整体技术水平还落后世界顶尖水平好几年,因此在材料、晶圆、封装及应用等环节的核心关键技术和可靠性、一致性等工程化应用问题上还需进一步完善优化。

当前,全球正处于新一轮科技和产业革命的关键期,第三代半导体产业作为新一代电子信息技术中的重点组成部分,为能源革命带来了深刻的改变。

在此背景下,OFweek维科网·电子工程作为深耕电子产业领域的资深媒体,对全球电子产业高度关注,紧跟产业发展步伐。为了更好地促进电子工程师之间技术交流,推动国内电子行业技术升级,我们继续联袂数十家电子行业企业技术专家,推出面向电子工程师技术人员的专场在线会议  「OFweek 2022 (第二期)工程师系列在线大会」  。

本期在线会议将于6月22日在OFweek官方直播平台举办,将邀请国内外知名电子企业技术专家,聚焦半导体领域展开技术交流,为各位观众带来技术讲解、案例分享和方案展示。

世界前500强企业中美国企业有哪些?

2010年,是140家,如下:

1 沃尔玛 美国 一般商品零售 408,214

3 埃克森美孚 美国 炼油 284,650

11 雪佛龙 美国 炼油 163,527

13 通用电气 美国 多元化 156,779

15 美国银行 美国 银行 150,450

17 康菲 美国 炼油 139,515

21 美国电话电报公司 美国 电信 123,018

23 福特汽车 美国 汽车 118,308

25 摩根大通 美国 银行 115,632

26 惠普 美国 计算机办公装置 114,552

28 伯克希尔哈撒韦 美国 保险 112,493

33 花旗集团 美国 银行 108,785

34 麦克森 美国 保健品批发 108,702

35 韦里孙通讯 美国 电信 107,808

38 通用汽车 美国 汽车 104,589

41 美国国际集团 美国 保险 103,189

43 卡地纳健康 美国 保健品批发 99,613

45 CVS Caremark 美国 食品、药品店 98,729

46 富国银行 美国 银行 98,636

48 国际商用机器 美国 资讯科技服务 95,758

61 联合健康 美国 医疗保健和保险 87,138

66 宝洁 美国 家居个人用品 79,697

70 克罗格 美国 食品、药品店 76,733

76 美国人伯根 美国 保健品批发 71,789

79 好市多 美国 专业零售 71,422

84 瓦莱罗能源 美国 炼油 70,035

88 阿彻丹尼尔斯米德兰 美国 食品生产 69,207

91 波音 美国 航天国防 68,281

92 美国邮政 美国 邮政包裹快递 68,090

97 家得宝 美国 专业零售 66,176

98 塔吉特 美国 一般商品零售 65,357

100 Wellpoint 美国 保健 65,028

106 沃尔格林 美国 食品、药品店 63,335

10 强生 美国 制药 61,897

109 州立农业保险 美国 保险 61,480

110 美可保健 美国 医药保健 59,804

115 微软 美国 计算机软体 58,437

130 联合技术 美国 航天国防 52,920

131 戴尔 美国 计算机办公装置 52,902

134 高盛 美国 银行 51,673

140 辉瑞 美国 制药 50,009

142 百思买 美国 专业零售 49,694

144 马拉松石油 美国 炼油 49,403

152 劳氏 美国 专业零售 47,220

157 联合包裹运输 美国 邮政包裹快递 45,297

159 洛克希德马丁 美国 航天国防 45,189

161 陶氏化学 美国 化学 44,945

165 西尔斯 美国 一般商品零售 44,043

167 国际资产控股 美国 金融 43,604

171 百事 美国 食品、消费品 43,232

172 邦基 美国 食品生产 41,926

174 大都会人寿 美国 保险 41,098

176 西夫韦 美国 食品、药品店 44,104

178 超价商店 美国 食品、药品店 40,597

179 卡夫 美国 食品、消费品 40,386

190 房地美 美国 金融 37,614

194 西斯科 美国 食品杂货批发 36,853

197 苹果 美国 计算机、电子产品 36,537

199 沃特迪斯尼 美国 娱乐 36,149

200 思科系统 美国 网路通讯装置 36,117

202 康卡斯特 美国 电信 35,756

205 联邦快递 美国 邮政包裹快递 35,497

207 诺斯洛普格拉曼 美国 航天国防 35,291

209 英特尔 美国 半导体及其他电子元件 35,127

210 安泰 美国 保健 34,764

221 纽约人寿 美国 保险 34,014

227 保德信金融 美国 保险 32,688

229 卡特彼勒 美国 工农业装置 32,396

230 斯普林特Nextel 美国 电信 32,260

233 好事达 美国 保险 32,013

234 通用动力 美国 航天国防 31,981

240 摩根士丹利 美国 银行 31,515

243 利宝相互保险 美国 保险 31,094

245 可口可乐 美国 饮料 30,990

247 哈门那 美国 医疗保健 30,960

248 霍尼韦尔国际 美国 航天国防 30,908

250 雅培 美国 制药 30,765

255 新闻集团 美国 娱乐 30,423

260 HCA 美国 保健 30,052

266 太阳石油 美国 炼油 29,630

267 赫斯 美国 炼油 29,569

268 英迈 美国 电子办公装置批发 29,515

270 房利美 美国 金融 29,065

274 时代华纳 美国 娱乐 28,842

280 江森自控 美国 汽车零件 28,497

284 达美航空 美国 航空公司 28,063

294 默克(默沙东) 美国 制药 27,428

296 杜邦 美国 化学 27,328

297 泰森食品 美国 食品生产 27,165

304 美国运通 美国 金融 26,730

311 美国教师退休基金会 美国 保险 26,278

317 CHS 美国 食品药品店 25,730

319 来德爱 美国 食品、药品店 25,669

325 Enterprise GP Holdings 美国 能源 25,511

328 麻省人寿 美国 保险 25,424

334 雷神 美国 航天国防 24,881

335 Express Scripts 美国 医疗保健 24,749

336 哈特福德金融 美国 保险 24,701

337 旅行者保险 美国 保险 24,680

339 Publix Super Markets 美国 食品、药品店 24,515

340 亚玛逊 美国 网际网路 24,509

343 史泰博 美国 专业零售 24,276

355 谷歌 美国 网际网路 23,651

360 梅西百货 美国 一般商品零售 23,489

362 国际纸业 美国 林产品、纸制品 23,366

366 甲骨文 美国 计算机软体 23,252

369 埃森哲 美国 资讯科技服务 23,171

370 3M 美国 多样化 23,123

372 迪尔 美国 工农业装置 23,112

378 麦当劳 美国 饮食服务 22,745

380 斯伦贝谢 美国 石油天然气装置与服务 22,702

389 Tech Data 美国 电子办公装置批发 22,100

391 摩托罗拉 美国 网路通讯装置 22,063

393 福陆 美国 工程建筑 21,990

396 礼来大药厂 美国 制药 21,836

404 可口可乐企业 美国 饮料 21,645

405 百时美施贵宝 美国 制药 21,634

408 西北相互 美国 保险 21,603

411 DirecTV 美国 电信 21,565

420 艾默生电气 美国 电子、电气装置 20,915

423 全美互惠保险 美国 保险 20,751

433 TJX 美国 专业零售 20,288

435 美利坚公司 美国 航空公司 19,917

443 合众银行 美国 银行 19,490

447 通用汽车金融服务 美国 金融 19,403

451 PNC金融服务 美国 金融 19,231

453 耐克 美国 服装 19,176

454 墨菲石油 美国 炼油 19,138

455 金佰利 美国 家居和个人用品 19,115

461 美铝公司 美国 金属 18,745

464 PAA管道 美国 管道输送 18,520

467 信诺 美国 健康保险 18,414

469 美国家庭人寿保险 美国 保险 18,254

478 时代华纳有线电视 美国 娱乐 17,868

483 USAA 美国 保险 17,558

484 彭尼 美国 一般商品零售 17,556

491 爱克斯龙 美国 公用事业 17,318

492 泰科国际 美国 电子、电气装置 17,240

495 柯尔百货 美国 一般商品零售 17,178

498 惠而浦 美国 家用电器 17,099。

美国世界500强企业中的中小企业有哪些

2016年美国500强企业榜单公布。

尽管美国经济2015年全年GDP增长了2.4%,但2016年美国500强企业在2015年实现的营业收入为12万亿美元,与2014年相比减少了4.22%,全部500家上榜公司的总收入相当于2015年美国GDP的66.9%,比上年下降了5个百分点。2016年美国500强营业收入与美国经济变动趋势的不一致,一方面是由于美国500强基本上都是大型跨国公司,国际化指数较高,企业营业收入中很大一部分都来自于国际市场,营业收入的变化同时受美国国内市场与国际市场影响;另一方面可能表明美国经济的复苏动力,更多来自美国中小企业。

从企业层面看,全部500家美国大企业中,除3家新进榜企业没有提供上年度营业收入资料外,有258家企业营业收入出现不同程度减少,只有239家企业的营业收入与上年度相比有不同程度增长。其中WEC能源集团公司、AECOM公司两家新进榜企业营业收入分别增长223.5%、115.3%,高居营业收入增幅榜前两位。营业收入减少最多的是炼油企业美国阿美拉达赫斯公司,与上年度相比营业收入骤降了68.7%;紧接其后的是马拉松石油公司、阿纳达科石油公司、阿帕奇公司、EOG资源公司和美国西方石油公司,这五家采矿与原油生产企业的营业收入均减少了50%以上。

与之相对应,这些企业的排名均出现大幅下降,降幅都在110名以上,美国阿美拉达赫斯公司更是从141位直降253名,今年仅在榜单中排名394位。在营业收入减少20%以上的44家美国大企业中,采矿与原油生产类企业有10家,炼油类企业有11家,占了将近一半。

世界500强企业中,有哪些是美国的企业

2008年度《财富》美国500强公司名单(1-50名)

1 [attachment=720] 沃尔玛 一般商品零售 378,799.0

2 [attachment=721] 埃克森美孚 炼油 372,824.0

3 [attachment=722] 雪佛龙 炼油 210,783.0

4 [attachment=723] 通用汽车 汽车 182,347.0

5 [attachment=724] 康菲 炼油 178,558.0

6 [attachment=725] 通用电气 多元化 176,656.0

7 [attachment=726] 福特汽车 汽车 172,468.0

8 [attachment=727] 花旗集团 银行 159,229.0

9 [attachment=728] 美国银行 银行 119,190.0

10 [attachment=729] 美国电话电报公司 电信 118,928.0

11 [attachment=730] 伯克希尔哈撒韦 多样化 118,245.0

12 [attachment=731] 摩根大通 银行 116,353.0

13 [attachment=732] 美国国际集团 保险 110,064.0

14 [attachment=733] 惠普 计算机 104,286.0

15 [attachment=734] 国际商用机器 计算机 98,786.0

16 [attachment=735] 瓦莱罗能源 炼油 96,758.0

17 [attachment=736] 弗莱森电讯 电信 93,775.0

18 [attachment=737] 麦克森 保健品批发 93,574.0

19 [attachment=738] 卡地纳健康 保健品批发 88,363.9

20 [attachment=739] 高盛 证券经纪 87,968.0

21 [attachment=740] 摩根士丹利 证券 87,879.0

22 [attachment=741] 家得宝 专业零售 84,740.0

23 [attachment=742] 宝洁 家居个人用品 76,476.0

24 [attachment=743] CVS Caremark 保健 76,329.5

25 [attachment=744] 联合健康 保健 75,431.0

26 [attachment=745] 克罗格 食品、药品店 70,234.7

27 [attachment=746] 波音 航天国防 66,387.0

28 [attachment=747] 美国人伯根 保健品批发 66,074.3

29 [attachment=748] 好市多 专业零售 64,400.2

30 [attachment=749] 美林 证券经纪 64,217.0

31 [attachment=750] 塔吉特 一般商品零售 63,367.0

32 [attachment=751] 州立农业保险 保险 61,611.6

33 [attachment=752] Wellpoint 保健 61,134.3

34 [attachment=753] 戴尔 计算机 61,133.0

35 [attachment=754] 强生 制药 61,095.0

36 [attachment=755] 马拉松石油 炼油 60,044.0

37 [attachment=756] 雷曼兄弟 证券经纪 59,003.0

38 [attachment=757] 美联银行 银行 55,528.0

39 [attachment=758] 联合技术 航天国防 54,759.0

40 [attachment=759] 沃尔格林 食品、药品店 53,762.0

41 [attachment=760] 富国银行 银行 53,593.0

42 [attachment=761] 陶氏化学 化学 53,513.0

43 [attachment=762] 大都会人寿 保险 53,150.0

44 [attachment=763] 微软 计算机软体 51,122.0

45 [attachment=764] 西尔斯 一般商品零售 50,703.0

46 [attachment=765] 联合包裹运输 邮递 49,692.0

47 [attachment=766] 辉瑞 制药 48,418.0

48 [attachment=767] 劳氏 专业零售 48,283.0

49 [attachment=768] 时代华纳 娱乐 46,615.0

50 [attachment=769] 卡特彼勒 工业农业装置 44,958.0

世界500强企业美国有哪些

没有该公司

世界500强企业有哪些 中国有哪些企业 在里面

31 中国石化

40 国家电网

46 中国石油

212 中国人寿

224 中国行动通讯

229 中国工商银行

262 中国电信

287 中化集团

309 宝钢集团

315 中国建设银行

316 中国南方电网

339 中国银行

347 和记黄埔

371 鸿海精密

397 中国农业银行

402 中油公司

434 中粮集团

448 一汽集团特约

2006中国企业在世界500强排名

23 中国石化

32 国家电网

39 中国石油天然气

199 中国工商银行

202 中国行动通讯

206 鸿海精密

217 中国人寿

255 中国银行

259 和记黄埔

266 中国南方电网

277 中国建设银行

279 中国电信

296 宝钢集团

304 中化集团

331 国泰金融控股

377 中国农业银行

441 中国铁路工程总公司

463 中粮集团

470 一汽集团

475 上汽集团

485 中国铁道建筑总公司

486 中国建筑工程总公司

宁波地区世界500强,中国500强企业有哪些

宁波百强企业,2007年宁波市百强企业

(按2006年末企业销售收入或营业收入排序)

1 中国石油化工股份有限公司镇海炼化分公司

2 宁波金田铜业(集团)股份有限公司

3 雅戈尔集团股份有限公司

4 奥克斯集团有限公司

5 杉杉投资控股有限公司

6 宁波宝新不锈钢有限公司

7 浙江远大进出口有限公司

8 维科控股集团股份有限公司

9 龙元建设集团股份有限公司

10 宁波市慈溪进出口股份有限公司

11 宁波波导股份有限公司

12 中海石油宁波大榭石化有限公司

13 宁波海田国际贸易有限公司

14 宁波银亿集团有限公司

15 宁波宁兴控股股份有限公司

16 宁波乐金甬兴化工有限公司

17 宁波轻纺城股份有限公司

18 浙江广天日月集团股份有限公司

19 宁波联合集团股份有限公司

20 世纪华丰控股有限公司

21 浙江前程投资股份有限公司

22 宁波韵升股份有限公司

23 宁波神化化学品经营有限责任公司

24 浙江北仑发电有限公司

25 浙江利时投资集团股份有限公司

26 宁波海天塑机集团有限公司

27 宁波博洋纺织有限公司

28 宁波市工艺品进出口有限公司

29 宁波申洲针织有限公司

30 中达建设集团股份有限公司

31 浙江广博集团

32 罗蒙集团股份有限公司

33 浙江兴润建设有限公司

34 浙江华鑫化纤有限公司

35 宁波浙东建材集团有限公司

36 浙江吉利汽车有限公司

37 宁波宁兴房地产开发集团有限公司

38 宁波太平鸟投资集团有限公司

39 宁波兴业电子铜带有限公司

40 浙江造船有限公司

41 中化宁波(集团)有限公司

42 宁波中华纸业有限公司

43 金轮集团股份有限公司

44 浙江振邦化纤有限公司

45 宁波万华聚氨脂有限公司

46 宁波医药股份有限公司

47 宁波新桥化工有限公司

48 浙江巨鹰集团股份有限公司

49 台化塑胶(宁波)有限公司

50 洛兹集团有限公司

51 宁波宁电进出口有限公司

52 浙江华联商厦有限公司

53 宁波市蔬菜有限公司

54 宁波百隆纺织有限公司

55 宁波富达股份有限公司

56 帅康集团有限公司

57 宁波云环电子集团有限公司

58 宁波腾头集团有限公司

59 宁波博威集团有限公司

60 宁波市鄞州对外贸易股份有限公司

61 余姚市电线电器厂

62 浙江华润慈客隆超市有限公司

63 宁波狮丹努集团有限公司

64 宁波市家电日用品进出口有限公司

65 宁波一舟投资集团有限公司

66 宁波双鹿电池有限公司

67 宁波布利杰针织集团有限公司

68 宁波世贸铜业有限责任公司

69 华茂集团股份有限公司

70 天安电气集团有限公司

71 宁波萌恒工贸有限公司

72 舜宇集团有限公司

73 浙江金甬腈纶有限公司

74 宁波国骅集团有限公司

75 浙江卓力电器集团有限公司

76 浙江恒威投资集团有限公司

77 宁波八方集团股份有限公司

78 贝发集团有限公司

79 宁波东方集团有限公司

80 得力集团有限公司

81 徐龙食品集团有限公司

82 宁波卓成化纤有限公司

83 惠康集团有限公司

84 宁波富田集团有限公司

85 奉化市爱伊美服饰有限公司

86 双林集团股份有限公司

87 宁波通润五矿机械进出口有限公司

88 宁波摩士集团股份有限公司

89 浙江球冠集团有限公司

90 宁波亿泰控股有限公司

91 宁波新海电气股份有限公司

92 宁波欣达(集团)有限公司

93 宁波富邦精业集团股份有限公司

94 宁波太一进出口贸易有限公司

95 宁波海螺水泥有限公司

96 宁波市中达石化有限公司

97 宁波新乐电器有限公司

98 宁波公运集团有限公司

99 宁波巨集利集团有限公司

100 宁波埃美柯铜阀门有限公司

中国石油化工股份有限公司镇海炼化分公司

宁波金田铜业(集团)股份有限公司

雅戈尔集团股份有限公司

奥克斯集团有限公司

杉杉投资控股有限公司

宁波宝新不锈钢有限公司

浙江远大进出口有限公司

维科控股集团股份有限公司

龙元建设集团股份有限公司

宁波市慈溪进出口股份有限公司

宁波波导股份有限公司

中海石油宁波大榭石化有限公司

宁波海田国际贸易有限公司

宁波银亿集团有限公司

宁波宁兴控股股份有限公司

宁波乐金甬兴化工有限公司

宁波轻纺城股份有限公司

浙江广天日月集团股份有限公司

宁波联合集团股份有限公司

世纪华丰控股有限公司

浙江前程投资股份有限公司

宁波韵升股份有限公司

宁波神化化学品经营有限责任公司

浙江北仑发电有限公司

浙江利时投资集团股份有限公司

宁波海天塑机集团有限公司

宁波博洋纺织有限公司

宁波市工艺品进出口有限公司

宁波申洲针织有限公司

中达建设集团股份有限公司

浙江广博集团

罗蒙集团股份有限公司

浙江兴润建设有限公司

浙江华鑫化纤有限公司

宁波浙东建材集团有限公司

浙江吉利汽车有限公司

宁波宁兴房地产开发集团有限公司

宁波太平鸟投资集团有限公司

宁波兴业电子铜带有限公司

浙江造船有限公司

中化宁波(集团)有限公司

宁波中华纸业有限公司

金轮集团股份有限公司

浙江振邦化纤有限公司

宁波万华聚氨脂有限公司

宁波医药股份有限公司

宁波新桥化工有限公司

浙江巨鹰集团股份有限公司

台化塑胶(宁波)有限公司

洛兹集团有限公司

世界500强企业中,日资企业有几家?

世界500强中日资企业超过100家。

但1楼说的摩托罗拉不是日本的,是美国的。

中国500强企业有哪些

17 中国石化 炼油 1316.36 亿元

24 中国石油天然气 炼油 1105.20

29 国家电网 电力 1071.85

154 鸿海精密 电子 405.95

170 中国工商银行 银行 368.32

180 中国行动通讯 电信 359.13

192 中国人寿 保险 337.11

215 中国银行 银行 307.50

230 中国建设银行 银行 285.32

237 中国南方电网 电力 279.66

275 中国电信 电信 247.91

277 中国农业银行 银行 244.75

290 和记黄埔 多元化 236.61

299 中化集团 贸易 231.09

307 宝钢集团 金属 226.63

327 中油公司 炼油 217.96

342 中国铁路工程总公司 工程建筑 205.20

343 国泰金融控股 保险 204.36

384 中国铁道建筑总公司 工程建筑 187.35

385 一汽集团 汽车 187.10

396 中国建筑工程总公司 工程建筑 181.63

402 上汽集团 汽车 180.10

405 中粮集团 贸易 179.53

427 华硕电脑 计算机 172.24

435 中国五矿集团 贸易 169.02

447 广达电脑 计算机 165.31

456 台塑石化 化学 162.81

457 怡和洋行 贸易 162.81

469 中国海洋石油总公司 炼油 160.38

488 中国远洋运输总公司 海运 154.13

中山500强企业有哪些

佳能(中山)办公装置有限公司、

日星电器(中山)有限公司、

阿普丽佳(中山)有限公司、

荒井制作所(中山)空调器材有限公司、

中山华钟毛纺织有限公司、

中山妮姬时装有限公司、

泰华施利华清洁用品(广东)有限公司、

中山住电新材料有限公司、

中山住胶精密塑胶有限公司、

中山樱井服装有限公司、

天马精塑(中山)有限公司、

中山市金鸟化工有限公司、

中山福朗声纸盆有限公司、

通用电器普特阳光板(中山)有限公司

霍尼威尔(朗能)、

乐百士等


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