半导体密封圈的材质有哪些

主要有5种材料。

（1）丁腈橡胶。

丁腈橡胶是由丁二烯与丙烯腈在悬浮液中聚合所得的共聚物，耐矿物基油、耐碳氢化合物及耐水性随丙烯腈的含量增加而提高。对于要求耐油性好的场合，采用高丙烯腈含量的丁腈—40为宜；低温工况应使用中丙烯腈含量的丁腈—26。丁腈橡胶是不饱合极性橡胶，故不溶于非极性的矿物油或动植物油中，但耐光性差，易受臭氧的侵害。

丁腈橡胶的牌号有： 丁腈—18、丁腈—26、丁腈—40。丁腈橡胶具有优良的耐燃料油及芳香溶剂等性能，主要用于接触动物油脂、汽油、一般油类及其他油类的密封场合。新型丁腈橡胶使用温度为-40～150℃，老型号丁腈橡胶为-20～100℃。

（2）氟橡胶。

氟橡胶牌号有F-23-11、F-26-41、F-246等，氟橡胶有耐高温、耐油、耐化学腐蚀等优点，安全温度-20～180℃，可用于苯类、汽油、热油、浓硫酸、浓硝酸、烧碱等介质。可用于制造气缸套密封圈、胶碗和旋转唇形密封圈，能显著地提高密封使用时间。

（3）硅橡胶。它是由有机硅和碳氢化合物合成的，具有良好的耐温性能，无毒无味，适用于油类、浓磷酸、浓醋酸、氢氧化钠、氨水、乙醇等。使用温度－70～260℃。由于硅橡胶不耐油，机械强度低，价格昂贵，因此不宜制作耐油密封制品。

（4）乙丙橡胶。它是由乙烯与丙烯合成，特别能耐磷酸酯液压油、酮、醇溶液和酸碱，同时又耐高压水蒸气，但在矿物油和二酯系润滑油中膨胀系数大，因此不能在这些介质中使用。它的耐温在40～150℃。

（5）氯醇橡胶。氯醇橡胶是20世纪60年代出现的橡胶，具有优良的耐油性、耐辐射性，主要用于氟里昂和矿物油类，使用温度为－20～130℃。

26-41氟胶在250℃下可长期使用，300℃下短期使用；246氟胶耐热比26-41还好。在300℃×100小时空气热老化后的26-41的物性与300℃×100小时热空气老化后246型的性能相当，其扯断伸长率可保持在100%左右，硬度90~95度。

246型在350℃热空气老化16小时之后保持良好d性，在400℃热空气老化110分钟之后保持良好d性，在400℃热空气老化110分钟之后。

含有喷雾炭黑、热裂法炭黑或碳纤维的胶料伸长率上升约1/2~1/3，强度下降1/2左右，仍保持良好的d性。23-11型氟胶可以在200℃下长期使用，250℃下短期使用。

扩展资料

氟橡胶的应用领域：

一、化学流程和石油炼化：该密封产品用于机械密封、泵、反应器、搅拌器、压缩机外壳、阀、各类仪表和其它设备上。通常用作阀座、阀杆的填料，隔膜和垫片。

二、分析和流程上的仪器：隔板、隔膜、柱形配件、箍、垫片等。

三、半导体制造

四、食品和制药

五、航空和航天领域

参考资料来源：百度百科-氟橡胶

氟橡胶组成物在高负荷、等离子照射的情况下，可形成性能优良的硫化胶。

该氟橡胶组成物，每100质量份氟中，质量分数68％以上的过氧化可交联的氟橡胶含多功能不饱和化合物交联剂0．7～2．4质量份，有机过氧化物0．3～1．0质量份。用该氟橡胶制得的硫化物经氧气等离子处理后具有卓越的耐等离子性，特别是高负荷状态下照射等离子时，其耐断裂性非常强。在密封状态下，能显示出必要的常态物理参数和压缩永久应变参数。因此，上述硫化物非常适用于制作半导体及液晶装置的零部件，如密封件、运输用滚筒等。

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