FFKM全氟醚橡胶密封圈材质是由TFE(主链)、PMVE(支链)及架桥部所构成,它不仅具有像PTFE一样优异耐高温,耐化学腐蚀的性能,还兼备了橡胶的d性,普通全氟橡胶密封圈工作温度范围为-25℃~+240℃间。
FFKM全氟醚橡胶密封圈材料在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。耐高温较高可达327℃,即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中,也不会发生导致密封失效的硬化和脆化,在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其d力和回d性能。
事实应用领域,全氟橡胶密封圈还具有优异的气密性和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛。
FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶,依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系氟橡胶最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于硅橡胶,有极佳的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性则较不良,一般使用温度范围为 -20~250 ℃。特殊配方可耐低温至 -40 ℃。
优点:
· 可抗热至 250 ℃
· 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力,尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
缺点:
· 不建议使用于酮类,低分子量的酯类及含硝的混合物。 · 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。
适用范围:
· 化工厂的密封件。
全氟橡胶 FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点:
· 最佳耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Plasma特性
缺点:
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高
适用范围:
· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理,其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点;其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳,一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点:
· 适用于特别用途,如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
缺点:
· 不建议暴露于煞车油,酮类及胼的溶液中 · 太空机件上。
(FFKM)O型圈
全氟醚橡胶是由TFE(主链)、PMVE(支链)及架桥部所构成,它不仅具有像PTFE一样优异耐高温,耐化学腐蚀的性能(可耐1600余种化学品的腐蚀),还兼备了橡胶的d性,其在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。普通全氟橡胶工作温度范围为-25℃~+240℃间,Kalrez7075耐高温可达327℃,即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中,Kalrez制作也不会发生导致密封失效的硬化和脆化,Kalrez在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其d力和回d性能。事实上,Kalrez的热稳定性往往超过了那些流体本身。全氟橡胶还具有优异的气密性(耐真空度可达1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛.
氟橡胶(FKM,FPM)分子式
(一) 分子结构
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type
CF3
—(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type
OCF3
—(CF2—CF ) ( CH2—CH2) (CF2—CF2 ) ETP
—(CF2—CF2 )( CH2—CH) TFE/P
‖
C H3
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