半导体废气处理？

半导体废气处理

废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

离子注入是离子参杂的一种。随着VLSI器件的发展，到了70年代，器件尺寸不断减小，结深降到1um以下，扩散技术有些力不从心。在这种情况下，离子注入技术比较好的发挥其优势。目前，结深小于1um的平面工艺，基本都采用离子注入技术完成掺杂。离子注入技术已经成为VLSI生产中不可缺少的掺杂工艺。………离子注入具有如下的特点①可以在较低温度下（400℃）进行，避免高温处理。②通过控制注入时的电学条件（电流、电压）可以精确控制浓度和结深，更好的实现对杂质分布形状的控制。而且杂质浓度不受材料固溶度的限制。③可选出一种元素进行注入，避免混入其他杂质。④可以在较大面积上形成薄而均匀的掺杂层。同一晶片上杂质不均匀性优于1％，且横向掺杂比扩散小的多。⑤控制离子束的扫描区域，可实现选择注入并进而发展为一种无掩模掺杂技术。…………离子注入技术应用领域2．1 离子注入应用于金属材料改性离子注入应用于金属材料改性，是在经过热处理或表面镀膜工艺的金属材料上，注入一定剂量和能量的离子到金属材料表面，改变材料表层的化学成份、物理结构和相态，从而改变材料的力学性能、化学性能和物理性能。具体地说，离子注入能改变材料的声学、光学和超导性能，提高材料的工作硬度、耐磨损性、抗腐蚀性和抗氧化性，最终延长材料工作寿命。离子注入提高工模具的耐磨性能、金属样品的抗疲劳性以及金属表面耐腐蚀性2 离子注入机应用于掺杂工艺在半导体工艺技术中，离子注入具有高精度的剂量均匀性和重复性，可以获得理想的掺杂浓度和集成度，使电路的集成、速度、成品率和寿命大为提高，成本及功耗降低。这一点不同于化学气相淀积，化学气相淀积要想获得理想的参数，如膜厚和密度，需要调整设备设定参数，如温度和气流速率，是一个复杂过程。上个世纪70年代要处理简单一个的ｎ型金属氧化物半导体可能只需6～8次注入，而现代嵌入记忆功能的CMOS集成电路可能需要注入达35次。技术应用需要剂量和能量跨越几个等级，多数注入情况为：每个盒子的边界接近，个别工艺因设计差异有所变化。随着能量降低，离子剂量通常也会下降。具备经济产出的最高离子注入剂量是1016/cm2，相当于20个原子层。3 在SOI技术中的应用由于SOI技术（Silicon-on-Insulation）在亚微米ULSI低压低功耗电路和抗辐照电路等方面日益成熟的应用，人们对SOI制备技术进行了广泛探索。1966年Watanabe和Tooi首先报道通过O＋注入形成SILF表面的Si氧化物来进行器件间的绝缘隔离的可能性。1978年，NTT报道用这项技术研制出高速、低功耗的CMOS链振荡电路后，这种注O＋技术成为众人注目的新技术。从而注氧隔离技术即SIMOX就成了众多SOI制备技术中最有前途的大规模集成电路生产技术。1983年ＮＴＴ成功运用了SIMOX技术大批生产了COMSBSH集成电路；1986年ＮＴＴ还研制了抗辐射器件。这一切，使得NTT联合EATON公司共同开发了强流氧离子注入机（束流达100mA），之后EATON公司生产了一系列NV－200超强流氧离子注入机，后来Ibis公司也研制了Ibis－1000超强流氧离子注入。从此SIMOX技术进入了大规模生产年代。到了上世纪90年代后期，人们在对SIMOX材料的广泛应用进行研究的同时，也发现了注氧形成的SOI材料存在一些难以克服的缺点，如硅岛、缺陷，顶部硅层和氧化层的厚度不均匀等，从而导致了人们开始着眼于注氢和硅片键合技术相结合的智能剥离技术即SMART CUT技术的研制，上世纪90年代末期，H＋离子注入成了新的热门话题。目前虽无专门的H＋离子注入机，但随着SMART CUT工艺日趋成熟，不久将会出现专门的H＋离子注入机。除了半导体生产行业外，离子注入技术也广泛应用于金属、陶瓷、玻璃、复合物、聚合物、矿物以及植物种子改良上。

SGS报告是sgs公司出具的

SGS简介

SGS 是 Societe Generale de Surveillance S.A. 的简称，译为“通用公证行”。

它创建于1887年，是目前世界上最大、资格最老的民间第三方从事产品质量控制和技术鉴定的跨国公司。总部设在日内瓦,在世界各地没有251家分支机构，256个专业实验室和 27000名专业技术人员，在142个国家开展产品质检、监控和保证活动。

据该公司宣称，目前世界上有23个国家（主要是发展中国家）的政府实施SGS检验包括：安哥拉、阿根廷、玻利维亚、布基那法索、布隆迪、柬埔寨、喀麦隆、中非、刚果共和国、象牙海岸、厄瓜多尔、几内亚、肯尼亚、马拉维、马里、毛里塔尼亚、墨西哥、巴拉圭、秘鲁、菲律宾、卢旺达、塞内加尔、刚果民主共和国、赞比亚。 这些基于对SGS的公正性、科学性、权威性和技术能力的充分信任，委托SGS对进品货物实施“装船前全面监管计划”（英文是Comprehensive Import Super-vision Scheme,简称CISS），即贸易发展，并抑制非法的进出品活动。

SGS关务作业是指货物进品国政府或政府授权海关当局与SGS签署协议,由SGS在货物出口国办理货物装船前的验货、核定完税价格(或结汇价格)、税则归类（在进口国实行HS 制度的前提下）,执行进品管制规定（如是否已事先申领进口许可证件等）等原系由进口国海关在货物运抵进品国后所执行的进品验关作业由SGS确认真实、合理后，出具公证报告，即“清洁报告书”（Clean Report of Finding,简称CRF），作为货物进口后向海关申报时必须交验的单证,进口国海关凭此简化或免除多道通关手续，直接征税后放行，既加快了验放（一般不复检）,又严密了监管。反之，则签发“不可兑现报告书” （Non-Ne-gotiable Report of Findings），这样，即使货物运抵目的港，进口国海关不予通关，出口商也不能结汇。

SGS关务作业一般包括以下内容：

1、检查（验）货物规格、数（重）量和包装。包括对商品进行物理测试、化学分析和外观检查,对数（重）量按照国际贸易中惯用方法进行鉴定；包装则要求货物能完好无损地运抵目的港收货人手中。对药品和化学品要查检有效期限等。

2、对大宗货物要求进行监视装载。一是保证所载货物是经过SGS检查（验）过的,二是保证合同项下货物完全、牢固地装在指定的运输船舶上.对集装箱货物要求进行监视装箱作业和施封。

3、核定价格。即对成交价格进行审核，这是实施CISS的最重要内容，也是吸引许多国家的原因之一,目的是防止进口商低价高报，避免资金外流，或防止高价低报，偷逃关税。SGS利用电脑网络收集储存各个渠道的商情，并要求出口商提供价格构成细目表，如出厂价、成品包装费、仓储费、运往码头运费、装船费、海运或空运费、佣金以及商业上可接受的附加费等,以便对货价同出口价或当地消费价格进行比较,查证卖方最后商业发票的总价及价格要素是否符合该商品在原产地供应国的正常出口价,保证完税价格和进口国外汇支出的合理性。

4、海关税则归类。审核进口商在进口许可证中所填报的税号与该国现行的海关税则规定是否相符,或依据验货时所见的实物提出合理的税号和税率，确保关税的足额征收和海关统计的准确性。

5、审核进口商品是否符合进口国外贸、海关法令，进口必需的许可手续是否齐备与合法，以有效杜绝无证到货和违禁品、管制商品的非法进口。

SGS关务作业流程大致如下：

1、 出口成交。

出口商按正常的贸易程序与进口商达成出口交易，进口商再把有关这笔交易的情况通知本国的SGS联络办公室，同时通知出口商需请SGS－CSTC验货。SGS－CSTC收到进口国SGS联络办公室的通知（检验编号）后，传真（邮寄）给出口商一份注明"SGS检验编号"（I．O．NO．）和SGS－CSTC"ICN"编号的空白验货申请表（RFI），通知出口商提交单据，安排验货。

2．申请验货。

为安排检验，出口商或报关行须在出口货物备妥前7天需填写带有SGS检验编号的验货申请表（RFI），连同下列单据一起传真（寄）给离验货地点最近的SGS－CSTC分公司。

这些单据包括形式发票、形式装箱单及零备件清单、产品技术规格资料、样本、信用证、制造商测试报告（机器／设备）、制造商分析报告（化工/医药/石油/染料产品）、卫生证书（食品）、植物检疫证书（全部农产品）、厂检分析单（全部钢铁材料及其初级产品）。所有提交给SGS－CSTC的单据均要注明SGS检验编号（此编号见验货申请表）。

在验货申请表上应列明供货商的详细资料，如联系人及联系电话、验货时间、验货地点等，以便SGS－CSTC与之联系，安排检验。

3．接受验货。

由CISS国家法规要求的装船前检验，SGS－CSTC不向出口商收取任何费用。出口商有义务把货物备妥并提供必要的（搬运）劳力和设备，以便检验顺利完成。出口商如果委托供货商或代理安排验货时，出口商有义务使供货商或代理清楚检验要求。如果货物没有按要求准备好或不具备检验条件，SGS－CSTC保留中止检验的权利。每一批在"全面进口监管计划（CISS）"下的货物都须由SGS－CSTC进行实物检验。SGS－CSTC的检验员将对照出口商的形式文件，检验货物的规格、名称、数量、外观质量，必要时要抽取样品。

4．申请核发公证报告。

出口货物经向海关报关装船后,出口商须备妥正本提单、发票装箱单等，向SGS申请核发公证报告。SGS－CSTC完成检验后，出口商须按国别把最终文件分别传真（寄）给SGS－CSTC上海经济事务部（EAD）。所有提交给SGS－CSTC的文件都应注明SGS检验编号（此编号见验货申请表）。如果SGS－CSTC的检验结果同出口商的最终文件有差异或文件不齐全，SGS会同出口商联系，要求修改文件、补充文件或通知进口国SGS联络办公室，以取得进口商的确认。

5．向SGS领取公证报告。

如果出口商收到的信用证上要求"在出口商的发票上贴SGS安全标签"（Security lable），出口商可提交一份最终出口发票给最近的SGS－CSTC分公司，并去领取安全标签，或要求SGS－CSTC将安全标签邮寄给出口商。请注意，只有在完成以上1－4程序后，SGS－CSTC才会签发安全标签。

此外,SGS还要求厂商在结关日前，电话通知有关船名、码头、装运单（S/D）号码筹，以便SGS认为有必要再派员复验。 SGS现已与我国政府官方机构－国家商检局合作，由国家商检局指定中国进出口商品检验总公司（CCLS ）代理他们办理从中国出口输往实施CISS国家商品的装船前检验，核定价格及税则号列，并代理SGS签发清洁报告书。目前有权签发的有辽宁、北京、天津、河北、山东、湖北、上海、广东等10个进出口商品检验公司。

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