半导体行业使用的气体具体用途是什么

半导体行业使用的气体具体用途是什么,第1张

做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到。

硅烷和笑气,长氧化硅时候用。

HCL:清洗wafer的时候用。

CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。

SF6:蚀刻Si的时候用。

其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。

甲烷是无色无味的气体,家用天然气(主要成份是甲烷)因混有臭味剂四氢噻吩而有味道。

而半导体车间(特别是新材料)一般是混有氯化氢、氨气等气体,而具有刺激性气味。


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