半导体用的石英管为什么需要低铝含量

半导体中，石英管通常用于高温环境下的热氧化或热扩散。要求低铝含量的原因如下：

1、热氧化热扩散主要是半导体器件形成源漏结的关键步骤，不能有金属离子污染。

2、高温环境可达1000多摄氏度，铝容易硅化，会造成器件结区损伤，容易漏电。

石英具有很多的优势，具有坚硬、耐磨、化学性能稳定等特性，这些特性使得石英具有广泛的应用，可以用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备等多种领域。

随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。

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