spacer工艺的作用

栅极侧壁的表面保护。spacer工艺是一种自对准的双重成像技术，采用的是微光纳米技术，可以作用在栅极侧壁表面的保护层，用来防止半导体结构形成工艺过程中，栅极侧壁表面受到损伤，延长栅极侧壁的使用时间。

化学结构中spacer什么意思

又称unit cell 晶孢；晶胞

Unit Cell 晶胞　能完整反映晶体内部原子或离子在三维空间分布之化学-结构特征的平行六面体单元.其中既能够保持晶体结构的对称性而体积又最小者特称“单位晶胞”,但亦常简称晶胞.

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