电子级氢氟酸是几类危险品

电子级氢氟酸是几类危险品,第1张

电子级氢氟酸是1类危险品。世界高端半导体市场长期以来被日本占领,经过经10年的发展,中国涌现出以安集、新阳、多氟多、江峰等企业为代表的高端电子化学品企业,根据用途的不同,电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。其中UPSS级别是目前最先进的级别,国内目前仅有多氟多生产和大规模应用。有刺激性气味,剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。所以,电子级氢氟酸是1类危险品。

美国半导体清洗标准。对切割出来的硅片进行打磨、抛光。硅片的表面会有很多大小不一的、各种各样的颗粒,包括金属沫、油污等。这些颗粒是要清洗的内容。

1、加热。假设室温20℃的情况下,用加热器将清洗溶液的温度加热到80℃,这样酸碱在高温下能加快反应,得到更好的清洗效果。

2、使用超声波产生气泡,同样能够达到吸取硅片表面杂质的目的。这种情况是在温度要求不能太高的情况下使用的。

3、震动。为了让杂质不会粘贴在硅片表面上,采用一种晃动的方式,让装有硅片的篮子在清洗溶液中充分接触溶液,增加摩擦,有效去污。


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