用蓝膜或UV膜将晶圆与FRAME固定在一起的设备。 半自动晶圆贴膜机由CHUCK TABLE,MOUNTING,FRAME CUTTER,WIND&REWIND,COVER,ELECTRICAL CONTROL SYSTEM等几部分组成。设备有以下几个特点:一、直线
切割刀位置可以根据不同的FRAME进行自动变换,这样能够有效的省膜。每次直线切割后,后面的膜由真空吸盘,吸起。二、WAFER CHUCK与FRAME CHUCK是分离式的。WAFER CHUCK可以上下调节,这样可以合理地处理不同厚度的WAFER, 整体的CHUCK TABLE还有浮动,这样贴膜时候,对WAFER有保护作用.三、 贴膜机构中,MOUNTING滚轮是用
汽缸来控制的,,对汽缸力的大小可以人为进行调节,这样贴膜力的大小,可以根据客户产品要求确定.四 、机器上气动元件采用SMC或KOGANEL品牌.保证其质量及使用寿命.机器上机械方面的外购件以优质品牌知名产品为主五、 旋转切割刀在6.8寸转换时,方便,另外切割易于 *** 作,同时切割稳定.六、上料机构中,膜的装入与卸下,比较方便,只要旋几下张紧旋扭,便可以实现上下料的 *** 作.同时料桶上有刻线,便于膜装入后,位置的确定.七、本设备是TABLE移动,产品放上TABLE后,TABLE在伺服马达的驱动下移进到工作位置后,贴膜滚轮将膜压下(压到FRAME上),TABLE再移动出来,这样膜自动被贴在产品上。
使用紫外光照射。在晶圆切割之前,需要使用蓝膜来固定晶圆以及铁圈,然后通过晶圆切割步骤将晶圆切割成多个小块的晶片。切割完成之后可以使用紫外光照射来将蓝膜胶带的粘性降低,方便将切割好的小块的晶片取出,以便后期封装步骤。
蓝膜也称超级蓝膜,是一种太阳光谱选择性吸收涂层,是沉积在相关金属表面,用来收集太阳能的吸收涂层,属新一代太阳能利用技术。
你是说封装的时候是如何将晶圆切割开的吧?封装前芯片会减薄到一般200um左右,然后会把圆片贴在一张蓝膜上,再进行划片;再经过装片工序,装片时用顶针将芯片与蓝膜分离并将芯片固定到封装框架上。
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