曝光机对位精度怎样确定？

曝光机曝光时以Laser测距进行对位。首先stage运动到recipe指定的位置后，Laser测距设备以固定的频率发出激光，该激光到达Bar-Mirror后返回至Laser测距设备，经过计算可以计算出其实际移动距离并反馈至Linux系统中与设定的移动距离进行对比，算出差值，通过Mask的移动进行补正。

人们在测量长度及距离时，往往离不开尺子。但测量的两点之间有障碍物，或是测量的对象比较特殊，如云层、人造卫星等，普通的尺子就无能为力了。

在激光测距仪出现之前，性能最好的要说是光学测距仪和微波测距仪了。我们不妨作个比较，就可以看出激光测距的优越性了。

首先，激光测距的精度高。一般光学测距机的测距误差取决于 *** 作手的目视误差和观察条件。 *** 作手的目视误差与 *** 作手的经验、如观察条件与能见度、目标轮廓的清晰度等有关。而且误差还随被测距离的增大而增大，例如观察5公里的目标，误差往往能达30～50米，甚至更大。激光测距的精度与 *** 作者的经验和被测距离无关，误差取决于仪器的精度。军用测距仪早期产品的误差，10公里一般在10米以内，近期产品均在5米以内。用于科学实验的测距仪精度更高，我们曾提到过的月球测距，由于月球上安放有角反射器（合作目标），最好的记录是384401公里，误差仅10厘米！美国NASA局在太空登月计划中，用激光对卫星进行精密测轨，精度已达±4厘米。日本用于预防地震的长距离测距系统，全程84公里误差竟能小于1毫米！

其次，激光测距 *** 作简便，速度快。激光测距机只要瞄准了目标，按下按钮，几秒钟数据便可显示出来，而一般光学测距机测一个数据则需几分钟。

再次，激光测距机的体积小重量轻。已装备的激光测距机，重量一般为10公斤左右，最小只有0.36公斤，体积只有香烟盒那么大。激光由于频率高，所以可以不用巨大的天线就可以发射极窄的光束。如束散角为1／20毫弧度的红宝石激光，只需直径7.62厘米的光学天线；而对微波来说，要想得到同样的散角，其天线直径需305米以上，真是不比不知道，一比吓一跳！

此外，激光测距机的抗干扰能力比较强。如普通光学测距，对于背着阳光的暗处或在夜晚，特别是距离比较远的时候，几乎不可能工作。但激光由于其亮度高，方向性好，就可很好地解决这一问题。微波测距，因其波长比激光长千倍以上，波束宽，因而易受电磁干扰和地波干扰。而激光测距则由于其波长短、波束窄，所以抗干扰性能好、测得精、测得远。不啻一把性能优异的“光尺”。

激光测距仪，有脉冲测距和连续波测距之分。目前军用的大部分是脉冲激光测距仪。

激光测距在军事上可以用于地形测量、战场前沿测距，坦克及火炮的测距，测量云层、飞机、导d以及人造卫星的高度等。

利用激光测距为火炮射击提供d道诸元，可以大大提高命中率。第二次世界大战中，一辆中型坦克对距离1500米处的静止目标射击，平均发射13发炮d才能获得50%的命中率；而现在配备了激光测距和d道计算机的火控系统后，在上述条件下都能做到首发命中。目前较为先进的坦克和火炮都已装备了激光测距系统。

从海湾战争中投入使用的激光测距仪来看，以后的发展有与激光标示、红外成像、火控瞄准系统综合为一体的趋势，激光测距仪则仅仅是其中的一个模块。

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