光刻机是什么 光刻机是什么东西

光刻机是什么 光刻机是什么东西,第1张

也称为掩模对准器、掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。,是制造芯片的核心设备。 它使用类似于照片印刷的技术,通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。 可以划分掩模对准器的类型。

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