RTP-1000D4快速退火炉一般都是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际领先的模糊PID控制,具有很高的控温精度〈±5℃〉,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。标准配件需:高温手套1付,热电偶1根,石英管1根,真空法兰1套。可选配件:氧化铝坩埚,石英坩埚,真空泵。
1、耐高温网带-退火炉网带,出现跑偏的情况。2、调接从一端的张紧轴开始,应慢慢地调整,不能迅速调节,否则会导致退火炉网带边沿刮损。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。
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