激光快速退火原理

传统的加热退火技术是把整个工件放在真空炉中。激光退火技术开始主要用于修复离子注入损伤的半导体材料,特别是硅,在一定的温度(300°～1200℃)保温退火10～60min。退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。

1、什么叫退火炉：退火炉是机械行业中的热处理设备其中的一种，其目的是使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件进行软化，降低硬度改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力，或得到预期的物理性能。2、退火炉原理：退火炉是将金属机件放在不同的加热炉内缓慢加热到一定温度，保温一段时间，然后以适宜速度冷却(通常是自然冷却，有时是控制速度冷却)的一种金属热处理工艺。2、退火炉的炉型： ①网带式退火炉、②井式退火炉、③罩式退火炉、④箱式退火炉等。3、常用的退火工艺有： ①完全退火。②球化退火。③等温退火。④再结晶退火。⑤石墨化退火。⑥扩散退火。⑦去应力退火。

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