半导体学报是sci几区

半导体学报是sci几区,第1张

《半导体学报》是中国电子学会和中国科学院半导体研究所主办的学术刊物。它报道半导体物理学、半导体科学技术和相关科学技术领域内最新的科研成果和技术进展,内容包括半导体超晶格和微结构物理,半导体材料物理,包括量子点和量子线等材料在内的新型半导体材料的生长及性质测试,半导体器件物理,新型半导体器件,集成电路的CAD设计和研制,新工艺,半导体光电子器件和光电集成,与半导体器件相关的薄膜生长工艺,性质和应用等等。本刊与物理类期刊和电子类期刊不同,是以半导体和相关材料为中心的,从物理,材料,器件到应用的,从研究到技术开发的,跨越物理和信息两个学科的综合性学术刊物。《半导体学报》发表中、英文稿件。《半导体学报》被世界四大检索系统(美国工程索引(EI),化学文摘(CA),英国科学文摘(SA),俄罗斯文摘杂志(РЖ))收录。

《半导体学报》1980年创刊。现为月刊,每期190页左右,国内外公开发行。每期均有英文目次,每篇中文论文均有英文摘要。《半导体学报》主编为王守武院士。国内定价为35元。主要读者对象是从事半导体科学研究、技术开发、生产及相关学科的科技人员、管理人员和大专院校的师生。国内读者可直接到全国各地邮局订阅。

下面都是材料学的刊物,很多哟。

序号 杂志全名 中译名

1 NATURE 自然

2 SCIENCE 科学

3 SURFACE SCIENCE REPORTS 表面科学报告

4 PROGRESS IN MATERIALS SCIENCE 材料科学进展

5 PROGRESS IN SURFACE SCIENCE 表面科学进展

6 PHYSICAL REVIEW LETTERS 物理评论快报

7 MATERIALS SCIENCE &ENGINEERING R-REPORTS 材料科学与工程报告

8 ADVANCES IN POLYMER SCIENCE 聚合物科学发展

9 ADVANCED MATERIALS 先进材料

10 ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE 材料科学年度评论

11 APPLIED PHYSICS LETTERS 应用物理快报

12 PROGRESS IN POLYMER SCIENCE 聚合物科学进展

13 CHEMISTRY OF MATERIALS 材料化学

14 PHYSICAL REVIEW B 物理评论B

15 ADVANCES IN CHEMICAL PHYSICS 物理化学发展

16 JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY 材料化学杂志

17 ACTA MATERIALIA 材料学报

18 MRS BULLETIN 材料研究学会(美国)公告

19 BIOMATERIALS 生物材料

20 CARBON 碳

21 SURFACE SCIENCE 表面科学

22 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 应用物理杂志

23 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 化学气相沉积

24 JOURNAL OF BIOMEDICAL MATERIALS RESEARCH 生物医学材料研究

25 IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS IEEE量子电子学杂志

26 CURRENT OPINION IN SOLID STATE &MATERIALS SCIENCE 固态和材料科学的动态

27 DIAMOND AND RELATED MATERIALS 金刚石及相关材料

28 ULTRAMICROSCOPY 超显微术

29 EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL B 欧洲物理杂志 B

30 JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY 美国陶瓷学会杂志

31 APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE &PROCESSING 应用物理A-材料科学和进展

32 NANOTECHNOLOGY 纳米技术

33 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE &TECHNOLOGY B 真空科学与技术杂志B

34 JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH 材料研究杂志

35 PHILOSOPHICAL MAGAZINE A-PHYSICS OF CONDENSED MATTER STRUCTURE DEFECTS AND MECHANICAL PROPERTIES 哲学杂志A凝聚态物质结构缺陷和机械性能物理

36 INTERNATIONAL JOURNAL OF NON-EQUILIBRIUM PROCESSING 非平衡加工技术国际杂志

37 JOURNAL OF NEW MATERIALS FOR ELECTROCHEMICAL SYSTEMS 电化学系统新材料杂志

38 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE &TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS 真空科学与技术A真空表面和薄膜

39 DENTAL MATERIALS 牙齿材料

40 JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS 电子材料杂志

41 JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS 核材料杂志

42 INTERNATIONAL MATERIALS REVIEWS 国际材料评论

43 JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS 非晶固体杂志

44 JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS 磁学与磁性材料杂志

45 OPTICAL MATERIALS 光学材料

46 IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY IEEE应用超导性会刊

47 METALLURGICAL AND MATERIALS TRANSACTIONS A-PHYSICAL METALLURGY AND MATERIAL 冶金与材料会刊A——物理冶金和材料

48 THIN SOLID FILMS 固体薄膜

49 JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 物理杂志D——应用物理

50 INTERMETALLICS 金属间化合物

51 PHILOSOPHICAL MAGAZINE B-PHYSICS OF CONDENSED MATTER STATISTICAL MECHANICS 哲学杂志B-凝聚态物质统计力学

52 SURFACE &COATINGS TECHNOLOGY 表面与涂层技术

53 JOURNAL OF BIOMATERIALS SCIENCE-POLYMER EDITION 生物材料科学—聚合物版

54 MATERIALS RESEARCH INNOVATIONS 材料研究创新

55 BIOMETALS 生物金属

56 INTERNATIONAL JOURNAL OF PLASTICITY 塑性国际杂志

57 SMART MATERIALS &STRUCTURES 智能材料与结构

58 ADVANCES IN IMAGING AND ELECTRON PHYSICS 成像和电子物理发展

59 SYNTHETIC METALS 合成金属

60 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN MEDICINE 材料科学杂志—医用材料

61 SCRIPTA MATERIALIA 材料快报

62 COMPOSITES PART A-APPLIED SCIENCE AND MANUFACTURING 复合材料 A应用科学与制备

63 MODERN PHYSICS LETTERS A 现代物理快报A

64 SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY 半导体科学与技术

65 JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY 欧洲陶瓷学会杂志

66 APPLIED SURFACE SCIENCE 应用表面科学

67 MATERIALS TRANSACTIONS JIM 日本金属学会材料会刊

68 PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH 固态物理A——应用研究

69 MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECH 材料科学与工程B—先进技术用固体材料

70 CORROSION SCIENCE 腐蚀科学

71 JOURNAL OF PHYSICS AND CHEMISTRY OF SOLIDS 固体物理与化学杂志

72 JOURNAL OF ADHESION SCIENCE AND TECHNOLOGY 粘着科学与技术杂志

73 INTERNATIONAL JOURNAL OF REFRACTORY METALS &HARD MATERIALS 耐火金属和硬质材料国际杂志

74 SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 表面与界面分析

75 INTERNATIONAL JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS 无机材料国际杂志

76 SURFACE REVIEW AND LETTERS 表面评论与快报

77 MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A-STRUCTURAL MATERIALS PROPERTIES MICROST 材料科学和工程A—结构材料的性能、组织与加工

78 NANOSTRUCTURED MATERIALS 纳米结构材料

79 IEEE TRANSACTIONS ON ADVANCED PACKAGING IEEE高级封装会刊

80 INTERNATIONAL JOURNAL OF FATIGUE 疲劳国际杂志

81 JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS 合金和化合物杂志

82 JOURNAL OF NONDESTRUCTIVE EVALUATION 无损检测杂志

83 MATERIALS SCIENCE &ENGINEERING C-BIOMIMETIC AND SUPRAMOLECULAR SYSTEMS 材料科学与工程C—仿生与超分子系统

84 JOURNAL OF ELECTROCERAMICS 电子陶瓷杂志

85 ADVANCED ENGINEERING MATERIALS 先进工程材料

86 IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS IEEE磁学会刊

87 PHYSICA STATUS SOLIDI B-BASIC RESEARCH 固态物理B—基础研究

88 JOURNAL OF THERMAL SPRAY TECHNOLOGY 热喷涂技术杂志

89 MECHANICS OF COHESIVE-FRICTIONAL MATERIALS 粘着磨损材料力学

90 ATOMIZATION AND SPRAYS 雾化和喷涂

91 COMPOSITES SCIENCE AND TECHNOLOGY 复合材料科学与技术

92 NEW DIAMOND AND FRONTIER CARBON TECHNOLOGY 新型金刚石和前沿碳技术

93 MODELLING AND SIMULATION IN MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING 材料科学与工程中的建模与模拟

94 INTERNATIONAL JOURNAL OF THERMOPHYSICS 热物理学国际杂志

95 JOURNAL OF SOL-GEL SCIENCE AND TECHNOLOGY 溶胶凝胶科学与技术杂志

96 HIGH PERFORMANCE POLYMERS 高性能聚合物

97 MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS 材料化学与物理

98 METALLURGICAL AND MATERIALS TRANSACTIONS B-PROCESS METALLURGY AND MATERIALS 冶金和材料会刊B—制备冶金和材料制备科学

99 COMPOSITES PART B-ENGINEERING 复合材料B工程

100 CEMENT AND CONCRETE RESEARCH 水泥与混凝土研究

101 JOURNAL OF COMPOSITE MATERIALS 复合材料杂志

102 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE 材料科学杂志

103 JOURNAL OF ENGINEERING MATERIALS AND TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME 工程材料与技术杂志—美国机械工程师学会会刊

104 MATERIALS RESEARCH BULLETIN 材料研究公告

105 JOM-JOURNAL OF THE MINERALS METALS &MATERIALS SOCIETY 矿物、金属和材料学会杂志

106 JOURNAL OF BIOMATERIALS APPLICATIONS 生物材料应用杂志

107 FATIGUE &FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS &STRUCTURES 工程材料与结构的疲劳与断裂

108 JOURNAL OF ADHESION 粘着杂志

109 COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE 计算材料科学

110 IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING IEEE半导体制造会刊

111 MECHANICS OF COMPOSITE MATERIALS AND STRUCTURES 复合材料和结构力学

112 PHASE TRANSITIONS 相变

113 MATERIALS LETTERS 材料快报

114 EUROPEAN PHYSICAL JOURNAL-APPLIED PHYSICS 欧洲物理杂志—应用物理

115 PHYSICA B 物理B

116 ADVANCED COMPOSITES LETTERS 先进复合材料快报

117 POLYMER COMPOSITES 聚合物复合材料

118 CORROSION 腐蚀

119 PHYSICS AND CHEMISTRY OF GLASSES 玻璃物理与化学

120 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS 材料科学杂志—电子材料

121 COMPOSITE INTERFACES 复合材料界面

122 AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN 美国陶瓷学会公告

123 APPLIED COMPOSITE MATERIALS 应用复合材料

124 RESEARCH IN NONDESTRUCTIVE EVALUATION 无损检测研究

125 PROGRESS IN CRYSTAL GROWTH AND CHARACTERIZATION OF MATERIALS 晶体生长和材料表征进展

126 JOURNAL OF COMPUTER-AIDED MATERIALS DESIGN 计算机辅助材料设计杂志

127 CERAMICS INTERNATIONAL 国际陶瓷

128 POLYMER TESTING 聚合物测试

129 ADVANCED PERFORMANCE MATERIALS 先进性能材料

130 SEMICONDUCTORS 半导体

131 URNAL OF BIOACTIVE AND COMPATIBLE POLYMERSJO 生物活性与兼容性聚合物杂志

132 HIGH TEMPERATURE MATERIALS AND PROCESSES 高温材料和加工

133 ADVANCES IN POLYMER TECHNOLOGY 聚合物技术发展

134 COMPOSITE STRUCTURES 复合材料结构

135 JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN 日本陶瓷学会杂志

136 BIO-MEDICAL MATERIALS AND ENGINEERING 生物医用材料与工程

137 INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B 现代物理国际杂志B

138 INTERNATIONAL JOURNAL OF THEORETICAL PHYSICS 理论物理国际杂志

139 INTEGRATED FERROELECTRICS 集成铁电材料

140 MAGAZINE OF CONCRETE RESEARCH 混凝土研究杂志

141 ACI MATERIALS JOURNAL 美国混凝土学会材料杂志

142 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS 材料科学杂志快报

143 FERROELECTRICS 铁电材料

144 BULLETIN OF MATERIALS SCIENCE 材料科学公告

145 MATERIALS SCIENCE FORUM 材料科学论坛

146 JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERIN 日本机械工程学会国际杂志系列A-固体力学与材料工程

147 MATERIALS CHARACTERIZATION 材料表征

148 SYNTHESIS AND REACTIVITY IN INORGANIC AND METAL-ORGANIC CHEMISTRY 无机物及金属—有机物化学的合成和反应

149 MATERIALS AT HIGH TEMPERATURES 高温材料

150 HIGH TEMPERATURES-HIGH PRESSURES 高温—高压

151 JOURNAL OF COMPOSITES TECHNOLOGY &RESEARCH 复合材料技术与研究杂志

152 ACI STRUCTURAL JOURNAL 美国混凝土学会结构杂志

153 MATERIALS &DESIGN 材料与设计

154 MATERIALS AND STRUCTURES 材料与结构

155 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 半导体加工的材料科学

156 BRITISH CERAMIC TRANSACTIONS 英国陶瓷会刊

157 MECHANICS OF COMPOSITE MATERIALS 复合材料力学

158 JOURNAL OF COATINGS TECHNOLOGY 涂层技术杂志

159 JOURNAL OF REINFORCED PLASTICS AND COMPOSITES 增强塑料和复合材料杂志

160 MATERIALS AND CORROSION-WERKSTOFFE UND KORROSION 材料与腐蚀

161 SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES 中国科学E技术科学

162 CEMENT &CONCRETE COMPOSITES 水泥与混凝土复合材料

163 MATERIALS EVALUATION 材料评价

164 POLYMERS &POLYMER COMPOSITES 聚合物与聚合物复合材料

165 JOURNAL OF MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING 料合成与加工杂志

166 ADVANCED COMPOSITE MATERIALS 先进复合材料

167 INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS &PRODUCT TECHNOLOGY 材料与生产技术国际杂志

168 JOURNAL OF MATERIALS IN CIVIL ENGINEERING 土木工程材料杂志

169 HIGH TEMPERATURE MATERIAL PROCESSES 高温材料加工

170 CONSTRUCTION AND BUILDING MATERIALS 结构与建筑材料

171 HIGH TEMPERATURE 高温

172 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING 稀有金属材料与工程

173 INORGANIC MATERIALS 无机材料

174 SCIENCE AND TECHNOLOGY OF WELDING AND JOINING 焊接科学与技术

175 MATERIALS AND MANUFACTURING PROCESSES 材料与制造工艺

176 FERROELECTRICS LETTERS SECTION 铁电材料快报

177 JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE &TECHNOLOGY 材料科学与技术杂志

178 JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING AND PERFORMANCE 材料工程与性能杂志

179 METALS AND MATERIALS INTERNATIONAL 国际金属及材料

180 GLASS TECHNOLOGY 玻璃技术

181 JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY 材料加工技术杂志

182 JOURNAL OF POLYMER MATERIALS 聚合物材料杂志

183 ADVANCED POWDER TECHNOLOGY 先进粉末技术

184 JOURNAL OF ADVANCED MATERIALS 先进材料杂志

185 SYNTHESE 合成

186 GLASS SCIENCE AND TECHNOLOGY-GLASTECHNISCHE BERICHTE 玻璃科学与技术

187 JOURNAL OF TESTING AND EVALUATION 测试及评价杂志

188 MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY 材料科学与技术

189 POWDER METALLURGY AND METAL CERAMICS 粉末冶金及金属陶瓷

190 MATERIALS SCIENCE 材料科学

191 MATERIALS TECHNOLOGY 材料技术

192 ADVANCED MATERIALS &PROCESSES 先进材料及工艺

193 RARE METALS 稀有金属

194 JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY-MATERIALS SCIENCE EDITION 武汉理工大学学报-材料科学版

195 PLATING AND SURFACE FINISHING 电镀和表面修整

196 JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS 无机材料杂志

197 MATERIALS WORLD 材料世界

198 METAL SCIENCE AND HEAT TREATMENT 金属科学及热处理

199 METALL 金属

200 MATERIALS PERFORMANCE 材料性能

201 JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING &MANUFACTURING SCIENCE 材料加工与制造科学杂志

202 SCIENCE AND ENGINEERING OF COMPOSITE MATERIALS 复合材料科学与工程

203 IEEE TRANSACTIONS ON COMPONENTS AND PACKAGING TECHNOLOGIES IEEE元件及封装技术会刊

204 JOCCA-SURFACE COATINGS INTERNATIONAL JOCCA—国际表面涂层

205 ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS 先进功能材料

206 ANNUAL REVIEW OF MATERIALS RESEARCH 材料研究年度评论

207 MATERIALS TRANSACTIONS 材料会刊

在工业界,新能源 汽车 的热度频频攀升,而小米造车信息的发布,无疑为新能源 汽车 又添了一把火。资本的加入,政策的扶持,让新能源车企市值一路飙升,关于新能源 汽车 的讨论也甚嚣尘上。作为未来新能源 汽车 电控系统的CPU,基于第三代半导体碳化硅(SiC)材料的新型电力电子器件也逐渐走进人们的视野。

近些年,新型电力电子器件在多项创新领域均发挥重要作用。例如,在2020年国家提出来的中国新基建中,5G基站、特高压、城际高铁和轨道交通、新能源 汽车 充电桩、大数据中心、人工智能、工业互联网,每一项产业的发展都离不开新型电力电子器件技术的支撑。

虽然新型电力电子器件在新能源建设中发挥着举足轻重的作用,但从国际市场竞争格局来看,美国和欧洲仍处于国际领先地位。而业内人士一致认为,新型电力电子器件的引入将带来电力电子技术的新一轮革命,并将影响世界的能源变换,为创建节能环保型 社会 产生重大作用。所以,新型电力电子器件技术研究方向对中国乃至全球的经济 社会 发展和环境保护都有着非常重大的意义。而浙江大学副研究员任娜的攻关方向正是基于碳化硅半导体材料的新型电力电子器件。

对于专业的选择,任娜有自己独特的眼光。2006年,她进入武汉大学电气工程学院,学习电力系统及自动化,这在当时是对口国家电网“铁饭碗”的专业。2010年,本科毕业,成绩优异的她被保送至浙江大学电气工程学院,转学电力电子专业。

为什么要换专业?任娜说,这里面有一段渊源。

任娜来到浙江大学时,正好遇到2009年从美国回到浙大任教的盛况教授,盛教授在美国新泽西州立大学拿到终身教职之后,放弃国外优厚待遇,毅然投身于国内贫瘠的电力电子器件和功率半导体行业。作为长期从事硅基和碳化硅电力电子器件、封装及应用研究的科学家,盛教授深知中国当时与世界领先队伍的差距,但他依然倾注全力,因为他知道:很多核心技术,一旦被研发出来,就能迅速地颠覆一个产品甚至一个时代。

盛教授对新型电力电子器件研究现状的描述和对未来发展的畅想刺激了任娜。碳化硅电力电子器件在当时国际上已成为研究热点,而国内在这一研究领域才刚刚起步,任娜相信,在盛教授的带领下,他们可以把国内的电力电子器件与功率半导体行业发展壮大。俗话说,起点低并不可怕,可怕的是境界低。在了解行业重要但技术落后的背景后,任娜果断选择了碳化硅电力电子器件研究方向,并进入盛教授创建的浙江大学电力电子器件实验室,成为国内较早开展碳化硅电力电子器件研发团队的一员。

事实也证明,任娜的选择很有前瞻性。在大力发展新能源的今天,电力电子器件技术的重要程度已经不言而喻。只是放眼十年前,她的选择还是很有勇气和魄力。

到了美国以后,任娜的学习一刻也不敢停歇。她发现,美国当时已经有很多企业想要进入电力电子器件行业,但是因为技术门槛高,所以需要寻求高校合作联合开发碳化硅电力电子器件产品技术。这给了任娜锻炼能力的机会。博士后期间,她先后主导了两项大型校企合作项目。“这些项目让我了解了如何把实验室的科研成果应用到企业产品中,实现产业化,也让我了解了科学研究与产业化之间的鸿沟如何弥补,为我回国后继续从事碳化硅电力电子器件技术的研究奠定了基础。”

从未知到成熟,任娜一直致力于碳化硅(SiC)电力电子器件的相关研究,其中包括SiC二极管和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)器件的物理机制、结构设计、工艺技术、芯片研制、器件测试与失效分析、性能与可靠性优化等方向,并取得了一系列研究成果。例如,在器件领域国际知名期刊与会议上共发表40篇论文,其中SCI论文23篇,获得了3项美国专利,并获得2017届电力电子领域国际学术会议(APEC)杰出报告奖等。

一路走来,任娜一直踏踏实实地走好每一步。在其博士期间,导师盛教授作为我国电力电子器件领域唯一的“长江学者”和国家自然科学基金委杰出青年科学基金获得者,对任娜严格要求,悉心栽培。也因此,任娜继承了导师严谨的学术作风和清晰的逻辑思维。博士后期间,在电力电子器件学习的殿堂,任娜又继续精进了自己在技术方面的学习,深入国际间的交流与合作,并积累同行业的人脉资源。无论是国内还是国外,在日积月累中,任娜已在不知不觉间高高地站在了学术前沿。

2019年9月,任娜回国,任教于浙江大学电气工程学院,并于2020年3月双聘至浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院,研究工作主要包括SiC二极管和MOSFET器件的可靠性研究与器件优化设计、新型沟槽型SiC MOSFET器件技术、超高压SiC门极可关断晶闸管器件技术等。

在最近入选的浙大科创中心青年人才卓越计划中,任娜计划挑战两大领域难点:一是突破现有器件性能的碳化硅沟槽栅极MOSFET技术,二是研制超高压碳化硅门极可关断晶闸管器件。

在SiC电力电子器件行业,MOSFET器件是中低压应用领域最具市场潜力的开关管类型,但现有的平面栅极MOSFET技术路线面临比导通电阻较大、单位面积导通电流能力受限的问题。如何打破该性能极限,进一步大幅度提高功率器件的性能,是摆在碳化硅MOSFET器件领域面前的一个巨大挑战。

项目中,任娜将针对近年来国际上兴起的新型沟槽栅极MOSFET器件技术, 探索 沟槽栅极结构沟道迁移率的影响机制和先进的沟槽栅氧工艺技术,研究芯片内部电场分布调控机制和方法,开发碳化硅沟槽刻蚀、栅氧生长、沟槽填充和注入形成电场屏蔽结构等关键工艺,实现高性能和高可靠的碳化硅沟槽型MOSFET器件,大幅度提高碳化硅芯片的导通电流密度,突破现有器件性能的水平。

虽然挑战的难度很大,但多年的行业浸润和知识积累,让任娜充满斗志。她说:“科研多年,经常遇到仿真不收敛、工艺技术开发失败、器件性能不符合预期等困难,但是遇到问题是解决问题的起点,遇到问题不可怕,可怕的是没有坚持用正确的方法去不断努力攻克它,我相信,每努力一次就离成功更近一步。”

除了突破现有器件技术,任娜还将挑战超高压碳化硅门极可关断晶闸管的研制。她解释说,如今,电力电子器件已经发展到了第三代,即以新型宽禁带半导体材料SiC和GaN为代表的器件技术,但目前电力系统等高压大功率应用仍然使用传统硅基大功率器件或模块,这限制了系统效率的提升和小型化、轻量化目标的实现。而碳化硅门极可关断晶闸管在高压大功率系统中的应用,可以减少器件数量、降低功率损耗、提高系统效率、减少冷却设备、缩小系统体积,所以,研制超高压碳化硅门极可关断晶闸管器件对国家在能源领域的发展意义重大。

然而,超高压碳化硅门极可关断晶闸管的研制也面临很多技术挑战:碳化硅材料缺陷对器件内部载流子寿命的影响机制和遏制技术还未探明,碳化硅材料缺陷将导致双极型器件性能发生退化,影响器件的可靠性,碳化硅门极可关断晶闸管的物理理论和器件模型尚不成熟,碳化硅器件的制造工艺十分复杂,与传统硅器件的工艺相差较大,需要自主开发相关的工艺技术和工艺平台,碳化硅门极可关断晶闸管器件与系统应用的结合,需要设计特殊的门极驱动和电路拓扑结构。

但任娜心里清楚,未来,电力电子器件的发展必定会朝着更小、更轻、更快、更高效、更可靠的方向发展。因此,她将全力以赴,争取获得碳化硅电力电子器件领域的突破性研究成果。

除了青年人才卓越计划,近期内,任娜的国家自然科学基金青年基金、台达电力电子科教发展基金项目也将同步进行。虽然事务繁忙,但她说,“人要是对自己没要求,那就什么事都做不成”。

未来,任娜希望自己可以开发出具有国际一流水平的碳化硅电力电子器件技术,以自身之力,为国家在能源领域的重大战略发展做出应有贡献。“我希望,未来人类 社会 可以更多地从我们今天的大量科学研究成果中获益,这也是我们科研活动的最终目标。”对于科研的前行之路,任娜如是说。


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