三星半导体洁净间管理的微小颗粒尺寸

微小颗粒尺寸是1.8微米

洁净间管理中Particle的粒子直径单位数量级是微米。

洁净间（无尘间、洁净室）是指具有HEPA过滤功能以从空气中去除颗粒的房间。指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间

粒子（particle），是指能够以自由状态存在的最小物质组成部分。最早发现的粒子是原子、电子和质子，1932年又发现中子，确认原子由电子、质子和中子组成，它们比起原子来是更为基本的物质组分，于是称之为基本粒子。

这个并不会有必然的联系,硅片生产过程中会经过好多到清洗的工艺,目的主要就是为了去掉微颗粒,有与硅片对洁程度要求较高,对环境的控制是为了不引入新的杂质,和医院做手术需要在无菌病房是一个道理.

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