半导体的基础:何谓前道、后道工序工艺

半导体的基础:何谓前道、后道工序工艺,第1张

前道主要是光刻、刻蚀机、清洗机、离子注入、化学机械平坦等。后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA植球、检查、测试等。又分为湿制程和干制程。

湿制程主要是由液体参与的流程,如清洗、电镀等。干制程则与之相反,是没有液体的流程。其实半导体制程大部分是干制程。由于对Low-K材料的要求不断提高,仅仅进行单工程开发评估是不够的。为了达到总体最优化,还需要进行综合评估,以解决多步骤的问题。

扩展资料:

这部分工艺流程是为了在 Si 衬底上实现N型和P型场效应晶体管,与之相对应的是后道(back end of line,BEOL)工艺,后道实际上就是建立若干层的导电金属线,不同层金属线之间由柱状金属相连。

新的集成技术在晶圆衬底上也添加了很多新型功能材料,例如:后道(BEOL)的低介电常数(εr <2.4)绝缘材料,它是多孔的能有效降低后道金属线之间的电容。

参考资料来源:百度百科-后道工序

参考资料来源:百度百科-半导体

参考资料来源:百度百科-前道工艺

芯片的制造过程可概分为晶圆处理工序(Wafer Fabrication)、晶圆针测工序(Wafer Probe)、构装工序(Packaging)。

测试工序(Initial Test and Final Test)等几个步骤。其中晶圆处理工序和晶圆针测工序为前段(Front End)工序,而构装工序、测试工序为后段(Back End)工序。

按照其制造技术可分为分立器件半导体、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、存储器等大类,一般来说这些还会被再分成小类。

此外,IC除了在制造技术上的分类以外,还有以应用领域、设计方法等进行分类,最近虽然不常用。

但还有按照IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其规模进行分类的方法。此外,还有按照其所处理的信号,可以分成模拟、数字、模拟数字混成及功能进行分类的方法。

晶圆处理工序:本工序的主要工作是在晶圆上制作电路及电子元件(如晶体管、电容、逻辑开关等),其处理程序通常与产品种类和所使用的技术有关。

但一般基本步骤是先将晶圆适当清洗,再在其表面进行氧化及化学气相沉积,然后进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、金属溅镀等反复步骤,最终在晶圆上完成数层电路及元件加工与制作。

扩展资料:

(1)元素半导体。元素半导体是指单一元素构成的半导体,其中对硅、锡的研究比较早。它是由相同元素组成的具有半导体特性的固体材料,容易受到微量杂质和外界条件的影响而发生变化。目前, 只有硅、锗性能好,运用的比较广,硒在电子照明和光电领域中应用。

硅在半导体工业中运用的多,这主要受到二氧化硅的影响,能够在器件制作上形成掩膜,能够提高半导体器件的稳定性,利于自动化工业生产。

(2)无机合成物半导体。无机合成物主要是通过单一元素构成半导体材料,当然也有多种元素构成的半导体材料,主要的半导体性质有I族与V、VI、VII族;II族与IV、V、VI、VII族;III族与V、VI族;IV族与IV、VI族。V族与VI族;

VI族与VI族的结合化合物,但受到元素的特性和制作方式的影响,不是所有的化合物都能够符合半导体材料的要求。这一半导体主要运用到高速器件中,InP制造的晶体管的速度比其他材料都高,主要运用到光电集成电路、抗核辐射器件中。 对于导电率高的材料,主要用于LED等方面。

参考资料来源:百度百科-半导体

单晶硅有机硅独特的结构,高纯的单晶硅是重要的半导体材料,具备了无机材料与有机材料的性能,市场上晶闸管、场效应管、二极管、三极管、芯片、CPU以及各种集成电路都是用硅做为原材料的,在对半导体设备的加工过程中会产生大量含有硅废水,本文讲解一下关于半导体工艺产生的废水有哪些?废水处理的流程是什么?

半导体含硅废水处理工艺流程:

1、一级沉淀池,用于沉淀回收部分二氧化硅

2、一级混凝池,用于投加混凝剂去除废水中的胶体硅和溶解硅,与所述一级沉淀池连接

3、二级混凝池,用于投加助凝剂和成核剂,利用成核剂反应析出的沉淀物(泥渣)作为接触介质加快沉淀物的长大,提高混凝效果,与所述一级混凝池连接

4、二级沉淀池,用于固液分离,沉淀混凝后的絮体,与所述二级混凝池连接

在对含硅废水进行初步沉淀时是可以回收部分的二氧化硅,在初步沉淀后的废水投加混凝剂进行一级混凝,去除废水中的胶体硅和溶剂硅,完成一级混凝后的废水投加助凝剂和成核剂,这时将会析出的沉淀物,析出的沉淀物在下落的过程中可以于其他的悬浮物混合,加快了沉淀的速度,提高混凝效果。

该半导体含硅废水处理方法结合了多种混凝除硅方法,药剂得到充分利用时形成协同效应,处理 *** 作简单而且能达到较好的除硅效果


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